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技術專文

分類 2010年 2016年 2022年 行動方案 圖5、台積電新物料及衍生廢棄物處理流程評估及控管

顯影劑 焚化+ - - 焚化+ - 0% 焚化+ - 0% User EMSP/C-ESH NFDD/FAC NFDD/FAC
廢液 掩埋 掩埋 掩埋
召開NTCC會 評估衍生廢 設計並確保
提供新物料 Yes
CE1.0 - - CE1.0 2,030 100% CE1.0 650 17% 委外再利用:電透析作為成面板廠顯劑回收 審核申請 議及鑑別ESH 液是否由廠 現有/新處理
風險 內處理 再生 設備處理成效 EMSP
CE2.0 - - CE2.0 - 0% CE2.0 - 0% 依申請量及
No Yes 成分核准測
LWM 試使用
CE3.0 - - CE3.0 - 0% CE3.0 3,200 83% 與供應商合作開發廢酸精煉成電子級顯影劑技術
確認是否有
含銅 焚化+ - 0% 焚化+ - 0% 焚化+ - 0% 合法適當的
廢液 掩埋 掩埋 掩埋 User/Supplier 廢棄物處理
再利用廠商
變更或調整 No
CE1.0 670 100% CE1.0 1,060 100% CE1.0 200 9% 委外再利用，再生產品為銅片或硫化銅 化學品成分
或濃度
CE2.0 - 0% CE2.0 - 0% CE2.0 1,250 58% 廠內建置電鍍(液中求銅)系統將硫酸銅轉至銅管

CE3.0 - 0% CE3.0 - 0% CE3.0 710 33% 與供應商合作將銅管再製Copper anode回用
磷酸 焚化+ - 0% 焚化+ - 0% 焚化+ - 0%
廢液 掩埋 掩埋 掩埋
四類營業項目，將廠內製程所使用
CE1.0 150 100% CE1.0 480 100% CE1.0 650 100% 委外再利用:再生產品為工業級磷酸或磷酸鹽類 參考文獻
排出之硫酸銅再生成銅管，並與原 [1] Ellen MacArthur Foundation (EMF),
CE2.0 - 0% CE2.0 - 0% CE2.0 - 0% Towards a Circular Economy: Business
物料供應商合作，成功將再生銅管
Rationale for an accelerated transition.,
CE3.0 - 0% CE3.0 - 0% CE3.0 - 0% 轉製成電子級鍍膜銅料循環回台積 2015.
公司製程使用。2018年底，台積 [2] David. W. Pearce and R. Kerry Turner,
氫氟酸 焚化+ - 0% 焚化+ - 0% 焚化+ - 0% Economics of natural resources and
廢液 掩埋 掩埋 掩埋 第一套硫酸銨乾燥系統即將投入上 the environment, Feb, 1991.
線，屆時可將製程產出之廢硫酸， [3] Intel Corporation, From Waste to Pro-
CE1.0 110 100% CE1.0 290 100% CE1.0 900 47% 委外再利用:再生產品為人造螢石及工業級氫氟酸 duct in the High-tech Sector, http://
與廢水中氨氮反應之生成物－硫酸 www.circulary.eu/project/was te-
CE2.0 - 0% CE2.0 - 0% CE2.0 1,000 53% 廠內轉製產生冰晶石作為煉鋁助熔劑 銨，做成99%的硫酸銨晶體銷售。 product-high-tech-sector/
[4] World Economic Forum, From Linear
並預期在2019年，首批的再生硫
CE3.0 - 0% CE3.0 - 0% CE3.0 - 0% to Circular-Accelerating a Proven
酸將回到台積電生產線上使用。到 Concept, http://reports.weforum.org/
廢化學 焚化+ - 0% 焚化+ - 0% 焚化+ - 0% [5] Lacy et al., Waste to Wealth-The
空桶 掩埋 掩埋 掩埋 了2022年以後，將陸續有再生氨 Circular Economy Advantage, 2014.
水，再生異丙醇，再生光阻稀釋液 [6] Murry et al., The Circular Economy:
CE1.0 200 100% CE1.0 370 100% CE1.0 410 80% An Interdisciplinary Exploration of the
等產品回到台積電生產線上使用， Concept and Application in a Global
CE2.0 0% CE2.0 0% CE2.0 100 20% 廠內建置化學空桶破碎機台，產製塑膠片做為再生塑 實現台積電搖籃到搖籃的理想。 Context, Journal of Business Ethics,
膠粒原料 2015.
[7] 黃育徵，「循環經濟」，天下雜誌股份
有限公司，2017。
CE3.0 - 0% CE3.0 - 0% CE3.0 - 0%
[8] 中技社，「循環經濟的發展趨勢與關鍵
其他 焚化+ 200 71% 焚化+ 700 74% 焚化+ 1,950 76% 議題」，2015。
(一般焚化 掩埋 掩埋 掩埋 [9] 徐琬婷，「循環經濟評估系統及其於台
廢棄物、 灣鋼鐵循環之應用」，2015。
空調濾網 CE1.0 80 29% CE1.0 250 26% CE1.0 600 24% 委外再利用:活性碳回收再生及金屬濾網經拆解後回收 [10] 蔡弦均，「探討價值與環保意識對循環
、活性碳 經濟平台使用意圖之影響」，2017。
等) CE2.0 - 0% CE2.0 - 0% CE2.0 - 0% [11] 張啟達/鄒倫，「臺灣資源循環產業之永
續發展策略」，2017。
CE3.0 - 0% CE3.0 - 0% CE3.0 - 0%

重新評估物料的成分及濃度調整之 結論 促進系統中廢棄物轉化為再生資源
可行性。透過此流程，藉以確保在 的循環模式。廢棄物是為錯置的資
源，透過一套可確保資源能持續回
新物料進廠使用的同時即有對應合
復、循環再生的創新發展模式，即
適的處理再生方式，避免及降低後 循環經濟是代表一個發展策略及模
式，以「減量化、再利用、再循 使是垃圾也可變成黃金。
續製程產出物造成環境影響之風險
環、降衝擊」為原則，在整個系統 2017年台積電回收廢棄物40萬公
圖5。
以減少能資源投入、提高能資源利 噸，回收率達95%，台積也同時完
用效率及降低環境衝擊為核心，並 成公司章程變更，新增化學材料等

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