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技術專文

電子化學品是應用於電子工業的精
表 1、電子化學品 SEMI 國際標準等級 表 2、精細化工與原料化工比較表（本研究整理） 圖2、精細化工的電子材料企業廠房外觀
細化工產品。相對於一般化學品而
言，電子化學品具有純度高、品
SEMI標準 C1(Grade1) C7(Grade2) C8(Grade3) C12(Grade4) Grade5 序號 比較內容 電子材料－精細化工 原料化工
種多、單品種用量小、對環境潔
淨度要求苛刻、產品更新換代快、
金屬雜質 ≤ 100 ≤ 10 ≤ 1 ≤ 0.1 ≤ 0.01 1 主要材料 來源於原料化工 石油、天然氣及其產品
資金投入量大、產品附加值高等特
點，各種產品在材料屬性、生產工 平均粒徑 ≥ 1 ≥ 0.5 ≥ 0.5 ≥ 0.2 * 2 加工工藝 配料、混合、提純以及分裝 高溫、高壓、反應釜一系列的
化學反應。
藝、應用領域之間有較大差異，產 顆粒個數 ≤ 25 ≤ 25 ≤ 5 依據協定 * 圖3、原料化工企業廠房外觀
品跨度大，細分產品的下游市場小 3 生產需求 恆溫恆濕、潔淨室 很多的生產在露天進行。
適應IC線寬範圍 >1.2 0.8-1.2 0.2-0.6 0.09-0.2 < 0.09
而分散的特點，因此需要較強的資 4 廢氣排放 生產過程中的廢氣收集後經過處理排 廢氣很難得得到有效處理，直
金和技術支撐。電子化學品的上游 放，和普通工廠一樣，屬於有組織排 接排放，無組織排放較多。
放。
是基礎化工原材料，供應商較多。
圖1、大陸電子化學品佔年需求成長圖 材料存放 因為量少而精，一般存放在建築物內。 室外大量的儲存罐等。
下游是電子工業企業如晶圓廠、封 5
裝廠、模組廠等，客戶數量相對較 6 建築法規 比照一般建築物規定(甲類裝置間距： 建築物之間的檢舉要求嚴格(甲
90 25%
少，粘性較強，進入客戶的壁壘較 12米)，對園區土地使用率高(法規將於 類裝置間距：25~60米)，對園
80 2019/6月生效)。 區土地使用率較低。
高。
20%
70
南京廠所需要的電子材料種類約 市場規模(萬噸)
60 YoY
220多種化學品，按生產工藝流程
15%
分，電子化學品主要分為純化類產 50
需增加15天的運輸時間，而且到大 半導體產業的發展需有在地的 化工製造所需環境需要在潔淨及空
品及混配類產品。其中純化工藝是 40 陸港口轉陸上運輸，易受道路管制 材料供應鏈 調溫控的廠房，且對環保廢氣排放
先將原料通過預處理後，再進行過 10%
30 而受到延遲，如重要假期(春節、 要求需有組織排放，另外法規對精
濾、提純處理，核心是提純技術和 十一長假)、重要慶典(如G20、國 基於前述的四點的經驗分析，明白 細化工製造的廠間距要求比照一般
分析檢測技術。混配工藝是將純化 20 5% 說明要維持台積電南京廠長期營運
際重要會議及重要人士參訪)及天 建築防火規範。因此精細化工企業
成品經過檢測後，再進行過濾、精 10 穩定及競爭力，重要的電子材料供
候(大雪及霧霾)等影響而造成材料 的廠房外觀如 圖2照片所示，是不
密混配等重要工藝完成，關鍵在於 0 0% 供應量上的嚴重問題。今年就發生 應鏈需建構在以南京廠為中心的地 同於 圖3原料化工廠房，且因法規
配方。 2014 2015 2016 2017 2018 方。但大陸近來因多次的工安事件
多次材料供應量的問題而緊急調料 規定明顯寬鬆於原料化工，因此土
及環保意識抬頭，不論是既設或新
2017年台積電電子材料品質異常 及調配生產用量來因應(H 2 O 2 、TS- 設的化工企業及園區管理及審查皆 地使用效率上是明顯有別於原料化
共9件，共造成1,220片晶片報廢 06、B 2 H 6 及HCL等)。這些非預期 趨於嚴格，因此如何為南京廠的材 工。
及生產線異常與物料更換；公司因 性的運輸管制皆增加運輸成本並危 料供應鏈選址並能成功形成產業群 另外有幾篇文獻也同樣在探討電子
此投入大量人力，輔導電子材料 最高等級要求，金屬雜質含量低於 2018年大陸電子化學品的總需求 及工廠生產的穩定性。 聚效應是本文討論的核心。 材料相關議題。
供應商，以提供穩定生產的原物料 ppt級，屬高端的電子材料等級。 量會超過73萬噸如 圖1所示，因此
品質，隨著製程工藝提升對電子材 電子材料產業也在處於高度成長的
品質問題 高純電子化學品技術研發現狀及
料供應品質要求重要性更是隨之提 浪潮上，台積電南京廠務必緊跟此
大陸電子材料產業過去 因物料運輸時間長，運輸過程中物 必須解決的基本問題
高，雖然電子材料在積體電路製造 機運讓相關電子材料供應鏈廠商能
與現況的發展 料品質可能受環境氣候外在的影 參考文獻及選址 主要描述高純度電子化學品對大陸
中的成本占比只有~5%，但對產品 以南京廠為中心設定電子材料供應
品質至關重要，因此如何發展南京 近年來在「中國製造2025」的國 鏈基地。 響，產生質變影響品質，以2018 可行性評估 發展電子訊息產業的重要性，並歸
年統計共有5次，因長時間運輸而 納整理目前大陸發展高純度電子化
廠在地的電子材料供應鏈是非常重 家戰略規畫下，新一代電子資訊產
衍生的品質問題(H 2 O 2 槽車管沖接 學品必須克服的基本問題如下，這
要的項目。 業是大陸傾全國之力發展的新興產 發展在地化電子材料的需求性
業，與其相關的配套高端電子材料 頭疑受大雨進水、HCL桶疑受高溫 文獻參考 些問題對欲規劃大陸在地化供應鏈
目前，國際上公認的電子化學品雜 台積電南京廠目前生產電子材料原 日曬變形、TS-06兩次因Shelf Life 廠家必須加以注意的。
也將是未來重要的發展領域。
質含量標準是SEMI國際標準如 表1 物料有95%以上來自非大陸地區， 到期退料及B 2 H 6 因Shelf Life到期退 電子材料產業的定位一般容易被
所示，其關鍵技術指標包括單項金 以全球範圍來看，電子化學品產業 因此衍生很多在台灣不曾發生的狀 料)。 混淆歸類為傳統化工類別，大陸 – 設置潔淨實驗室及潔淨實驗室
屬離子、單項陰離子、顆粒數等， 屬於比較成熟的產業，大陸企業處 況。 目前訂定相關標準於GB50XXX- 用品的配置－在產品製造過程和
另外根據不同產品特點會相應增加 在技術追趕的階段，目前高端電子 201X，並計畫於Y2019執行；規 分析檢測過程中，對各個環節可
安全問題 能接觸的污染空氣進行潔淨化處
其它一些技術指標。超淨高純試劑 化學品主要以美國、歐洲、台日韓 增加成本 範中明確定義何謂「精細化工」及
一般要求化學試劑中控制顆粒的 的企業為主佔比高達80%。近年 原物料皆需透過長時間的運輸，整 因物料運輸時間長，為降低材料供 「電子化學品－電子材料」，並清 理，達到相應的潔淨度要求。
粒徑在0.5μm以下，雜質含量低於 來大陸政府政策大力扶持高端電子 體電子材料成本對比台灣增加約 應鏈斷料對生產的影響，尤其是易 楚定義了電子材料屬於精細化工的 – 製程用水的問題－高純電子化學
ppm級(10-6為ppm，10-9為ppb， 產品、電子化學品等因素的刺激。 18%以上，對整體生產製造約增加 受運輸管制的劇毒、易爆及易製爆 其中一類別，而且明確規範在基地 品研究過程中需要使用大量製程
10-12為ppt)，是化學試劑中對顆 大陸市場增速普遍高於全球市場增 0.9%以上的成本。 相關的原材料，以增加在台積工廠 建築物防火間距的要求。為能清楚 水及洗淨水，水質對產品品質的
粒控制、雜質含量要求最高的試 速。就以電子化學品而言，預計 儲存量來因應，但也因存儲大量的 分辨精細化工與原料化工製造及法 影響很大。由於高純電子化學品
劑。目前台積電南京廠製程工藝所 未來5年，電子化學品需求的年均 運輸時間長 危化品於工廠內而增加安全上的風 規上的差異，本文自行整理了一張 對雜質要求極為嚴格，所使用的
需的電子化學品要求是Grade 5的 複合增長率將達到15%左右，到 大部分的原物料皆需透過海運運送 險。 比較表如 表2。主要差異有：精細 超純水須絕對達到國標一級水標

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