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Tech
Notes
技術專文
Wet Cyclone Participator of
PM2.5
Reduction
in Local Scrubber
應用濕式旋風集塵器於製程尾氣
處理設備改善細懸浮微粒研究
PM2.5 空氣污染與健康危害之議題近年開始受到重視，為因應民眾對環境品質要求提升的期望，本研究探
討目前半導體業界粒狀物防制技術應用，以及製程尾氣處理設備 (Local Scrubber,LSC) 後端酸性排風管所產
生阻塞問題，本研究使用濕式旋風集塵技術來處理風管阻塞問題及改善 PM2.5，提供未來長期系統改善建
置新方法之參考。
關鍵詞／細懸浮微粒、粒狀物防制技術、製程尾氣處理設備
Keywords/ PM2.5, Particulate Matter Control Technology, Local Scrubber
文│張聖杰│中科廠務一部│
前言 空氣品質指標為依據監測資料將當日空氣中臭氧
(O 3 )、細懸浮微粒(PM2.5)、懸浮微粒(PM10)、
一氧化碳(CO)、二氧化硫(SO 2 )及二氧化氮(NO 2 )
一打開電視，新聞又播報著今天台灣西半部地 濃度等數值，以其對人體健康的影響程度，分別
區，多數環保署空氣品質監測站已達紫爆標準， 換算出不同污染物之副指標值，再以當日各副指
造成現在台灣民眾每天早上最新的流行問候語就 標之最大值為該檢測站當日之空氣品質指標值
(AQI)，如 表1所示。
是：您今天戴口罩了嗎？2016年12月1日，環
保署對空氣品質優劣之指標，改以「空氣品質指 「髒空氣」會致病、致癌，而空氣中的污染物，
標」(Air Quality Index, AOI)取代過去的「空氣污 又以PM2.5（粒徑在二．五微米以下懸浮微粒的
染物標準指標」(Pollutant Standard Index, PSI)、 通稱）威脅人類健康日趨嚴重，PM2.5直徑示意
其細懸浮微粒(PM2.5)併陳的方式，其定義如下： 圖如 圖1所示。
2012 年加入台積電至今，很榮幸可以與一群那麼傑出
聖 杰
的夥伴共事，特別感恩公司帶給我如此好的生活，期
許自己未來持續遵循張忠謀創辦人對員工的叮嚀：「努
力工作、平衡生活」。
張 Scott Chang
40 FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2019 41
中科十五廠一期製程尾氣處理設備濕式旋風集塵器 攝影/ 洪湘寧
