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技術專文

圖5、正逆脫附切換氣流方向示意圖 圖9、對比新鮮轉輪之靜態吸附測試結果

120
熱交換器 熱交換器
正脫附 逆脫附
100%
T3 T3 100 78% 84% 79% 82%
Adsorption ratio of Toluene [%] (compared with virgin) 80 64% 67%

60
脫附風車 脫附風車
T5 T5
轉輪 轉輪 40

20

0
Virgin Pro. In Middle Pro. Out Pro. In Middle Pro. Out
VOC-05 VOC-06
圖6、正逆脫附切換之氣流方向 圖8、F12P1 VOC-05/06轉輪樣本切片

脫附不完全 Process Inlet Middle Process Outlet
轉輪 表 2、正逆脫附出口 VOCs 量測值 Unit:μg/m 3
T5 T3
210˚C IPA Acetone PGME Toluene PGMEA
65˚C 高脫附溫度 VOC-05
低脫附溫度 脫附空氣
高吸附區 低吸附區
(脫附方向)
沸點(°C) 82 56 118 110.6 145
正脫附 3.6~163 6.0~8.4 9.2~79 1.4~5.6 6.5~18
製程廢氣
(吸附方向) 潔淨排氣 VOC-06 逆脫附 237~316 39~90 491~677 1.3~5.7 225~339

物。藉由量測新鮮轉輪切片與吸附 結果與分析 圖11 ，單台VOC處理設備排放預估
圖7、F12P1 VOC-05/06轉輪樣本 甲苯後之轉輪切片重量差，做為新 減量可達到0.3噸/年。若持續進行
鮮轉輪吸附容量基準，另各自針對 正逆脫附切換，可持續改善去除效
VOC-05/06轉輪樣本進行複製實 在VOC-06 安裝逆脫附裝置完成 率。對比廠區內其他VOCs處理設
Process Inlet Middle Process Outlet
驗，可得出吸附測試結果如下。若 後，首先持續進行高溫逆脫附但並 備，也可看出經逆脫附處理後之轉
新鮮轉輪吸附量為100%，VOC- 不投入運轉，接著在約30天的逆脫 輪效率有大幅提升，僅次於廠區新
VOC-05 05/06製程氣體入口處吸附容量僅 附測試期間，VOC-06出口VOCs濃 設之五年內轉輪 圖12。
度持續保持在1.6ppm以上，並針
剩下64%~67%，製程氣體出口處
對VOC-06出口端進行氣體取樣 表
還有82%~84%之吸附容量 圖9，
2。可看出在進行逆脫附時，較高
此實驗可以看出轉輪經過反覆的高
沸點的PGME、PGMEA會被大量
VOC-06 溫脫附再生，受熱較高的一側能保 脫附出來，進而導致逆脫附初期 結論
有較佳的吸附能力，而脫附出口處
VOC-06出口濃度偏高的現象，同
的吸附能力明顯較差。按此結果推 針對沸石轉輪之效能改善，廠務先
時也驗證了轉輪取樣切片的分析結
論，如針對轉輪進行高溫逆脫附， 果，亦即有大量高附沸點有機物， 進已有提出許多做法。如使用潔
應可使得製程氣體入口處之轉輪吸 因長期受熱不均而累積在轉輪出口 淨空氣進行轉輪熱脫附，以4ppm
附量恢復約20%以上，惟仍需進行 處。而隨著持續的正逆脫附切換， 的潔淨空氣相對於原本180ppm
圖7 ，可看出轉輪在製程氣體入出口 為10mm之樣本 圖8。另外取相同 首先將新鮮轉輪切片加熱至200℃ 較長期的測試後方可驗證此結果。 VOCs出口濃度在一個月後已可以 進行測試，轉輪出口濃度降低
穩定小於1.4ppm以下 圖10 ，出口處 0.6ppm，總排放量降低12%，另
處有明顯的變色情形，針對圖中的 尺寸的新鮮沸石共七個樣本進行吸 一小時後，浸泡在甲苯(toluene)化
理濃度改善12%、去除率超過99% 外作為脫附用載流氣體，若是可提
藍色區塊進行轉輪切片，取出厚度 附測試。 合物中兩小時，使其吸附甲苯化合 升脫附出口溫度(T5)，則當T5溫度

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