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Notes
技術專文

圖10、VOC-06執行高溫逆脫附後之轉輪出口濃度變化 圖12、F12P1/2 VOC設備去除率F-chart

3.0
18年轉輪 5年轉輪
逆 正 逆 正 逆 正
2.7 %
100.0
2.4
> 1.6ppm 99.0
2.1
98.0
1.8 97.0
ppm < 1.4ppm
1.5 96.0
95.0
1.2
94.0 逆脫附
0.9
93.0
0.6
92.0
0.3 91.0

0.0 90.0
03/01 18:00 03/03 06:54 03/04 19:48 03/06 08:42 03/07 21:36 03/09 10:30 03/10 23:24 03/12 12:18 03/14 01:12 03/15 14:06 03/17 03:00 03/18 15:54 03/20 04:48 13/21 17:42 03/23 06:36 03/24 19:30 03/26 08:24 03/27 21:18 03/29 10:12 03/30 23:06 04/01 12:00 20190303 20190304 20190305 20190306 20190303 20190304 20190305 20190306 20190303 20190304 20190305 20190306 20190303 20190304 20190305 20190306 20190303 20190304 20190305 20190306

圖11、VOC-06執行高溫逆脫附後轉輪對VOCs之去除率變化
由40℃上升至55℃時，去除效率 度改善12%、去除率超過99%， 參考文獻
可以額外增加0.3%。而陳仲祥等 實際VOCs排放預估減量可達到0.3 [1] Recommendation from the Scientific
Committee on Occupational Exposure
人於2018年提出使用調高脫附溫 噸/年。而從F-chart可看出，對比 Limits for Refractory Ceramic Fibres,
逆 正 逆 正 逆 正 度至250℃，脫附出口溫度調高至 廠區內其他VOCs處理設備，經逆 2011.
99.6 100℃，並調降轉輪轉速等做法， 脫附處理後之轉輪效率有大幅提升 [2] 張書豪，科學園區空氣污染物排放特性
之探討，1999。
可將去除效率由91%提升至96%。 (98.2%→99.2%)。以實驗結果來 [3] 白曛綾，沸石濃縮轉輪焚化系統操作績
99.2 看，經高溫逆脫附手法，轉輪可以 效自我評估管理制度，2003。
而本次經由轉輪高溫逆脫附，可使 [4] 許菁珊，沸石對於光電產業揮發性有機
99.2% 恢復其吸附容量，使得VOCs出口 化合物之吸脫附研究，2006。
98.8 轉輪進行更全面的再生，是以往的
濃度及去除效得到明顯改善。亦即 [5] Mitsuma, Y., Ota, Y., Kuma, T., Hirose,
高溫脫附以及例行預防保養的水洗 T., “Practice of The VOC Abatement
98.4 是在目前的高溫脫附以及冷凝方式 by Thermal Swing Ceramic Monolith
98.5% 方式時所無法做到的。本次執行高 外，更進一步提升轉輪效率之方 Adsorbers,” Proc. 4th Japan-Korea
溫逆脫附專案，針對廠區VOC-06 Syposium on Seperation Technology,
(%) 98.0 法。 p479-482, Tokyo. Japan, 1996.
的轉輪進行取樣分析，確認轉輪在 [6] 竹科氣膠課程Absorption theory.
97.6 長期使用下，吸附容量衰退至70% [7] 錢立行、陳庭鈞，排氣革命－揮發性有
機物減量新思維，300mm FABS廠務季
以下，高沸點有機物累積在轉輪出 刊第二十六期，2016。
97.2 口側並影響VOCs處理效率。故於 [8] 葉峮甫、林哲冠、周家祿，先進製程之
高沸點揮發性有機物處理技術應用，
VOC-06安裝高溫逆脫附裝置，使
96.8 300mm FABS廠務季刊第二十六期，
用GC-MS分析轉輪出口氣體樣本， 2017。
96.4 發現在逆脫附運轉下，內部高沸點
有機物(PGME/PGMEA)被脫附出
96.0 來，進而使VOCs出口濃度上升至
03/01 18:00 03/03 06:24 03/04 18:48 03/06 07:12 03/07 19:36 03/09 08:00 03/10 20:24 03/12 08:48 03/13 21:12 03/15 09:36 03/16 22:00 03/18 10:24 03/19 22:48 13/21 11:12 03/22 23:36 03/24 12:00 03/26 00:24 03/27 12:48 03/29 01:12 03/30 13:36 04/01 02:00 1.6ppm以上。而隨著持續的正逆
脫附切換，VOCs出口濃度在可穩
定小於1.4ppm以下，出口處理濃

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