Page 37 - Vol.35
P. 37

Tech
 Notes
 技術專文


 圖5、正逆脫附切換氣流方向示意圖  圖9、對比新鮮轉輪之靜態吸附測試結果


                     120
 熱交換器  熱交換器
 正脫附  逆脫附
                            100%
 T3  T3              100                            78%         84%                    79%        82%
                  Adsorption ratio of Toluene [%]  (compared with virgin)  80  64%  67%



                      60
 脫附風車  脫附風車
 T5  T5
 轉輪  轉輪               40

                      20


                      0
                            Virgin      Pro. In    Middle     Pro. Out     Pro. In    Middle     Pro. Out
                                                   VOC-05                             VOC-06
 圖6、正逆脫附切換之氣流方向  圖8、F12P1 VOC-05/06轉輪樣本切片


 脫附不完全  Process Inlet  Middle  Process Outlet
 轉輪           表 2、正逆脫附出口 VOCs 量測值                                                                 Unit:μg/m 3
 T5  T3
 210˚C                               IPA            Acetone        PGME           Toluene        PGMEA
 65˚C  高脫附溫度  VOC-05
 低脫附溫度  脫附空氣
 高吸附區  低吸附區
 (脫附方向)
                  沸點(°C)             82             56             118            110.6          145
                  正脫附                3.6~163        6.0~8.4        9.2~79         1.4~5.6        6.5~18
 製程廢氣
 (吸附方向)  潔淨排氣  VOC-06  逆脫附           237~316        39~90          491~677        1.3~5.7        225~339





              物。藉由量測新鮮轉輪切片與吸附                 結果與分析                            圖11 ，單台VOC處理設備排放預估
 圖7、F12P1 VOC-05/06轉輪樣本  甲苯後之轉輪切片重量差，做為新                                       減量可達到0.3噸/年。若持續進行
              鮮轉輪吸附容量基準，另各自針對                                                  正逆脫附切換，可持續改善去除效
              VOC-05/06轉輪樣本進行複製實              在VOC-06 安裝逆脫附裝置完成                率。對比廠區內其他VOCs處理設
 Process Inlet  Middle  Process Outlet
              驗，可得出吸附測試結果如下。若                 後，首先持續進行高溫逆脫附但並                  備，也可看出經逆脫附處理後之轉
              新鮮轉輪吸附量為100%，VOC-               不投入運轉，接著在約30天的逆脫                 輪效率有大幅提升，僅次於廠區新
 VOC-05       05/06製程氣體入口處吸附容量僅               附測試期間，VOC-06出口VOCs濃              設之五年內轉輪 圖12。
                                              度持續保持在1.6ppm以上，並針
              剩下64%~67%，製程氣體出口處
                                              對VOC-06出口端進行氣體取樣 表
              還有82%~84%之吸附容量  圖9，
                                              2。可看出在進行逆脫附時，較高
              此實驗可以看出轉輪經過反覆的高
                                              沸點的PGME、PGMEA會被大量
 VOC-06       溫脫附再生，受熱較高的一側能保                 脫附出來，進而導致逆脫附初期 結論
              有較佳的吸附能力，而脫附出口處
                                              VOC-06出口濃度偏高的現象，同
              的吸附能力明顯較差。按此結果推                                                  針對沸石轉輪之效能改善，廠務先
                                              時也驗證了轉輪取樣切片的分析結
              論，如針對轉輪進行高溫逆脫附，                 果，亦即有大量高附沸點有機物，                  進已有提出許多做法。如使用潔
              應可使得製程氣體入口處之轉輪吸                 因長期受熱不均而累積在轉輪出口                  淨空氣進行轉輪熱脫附，以4ppm
              附量恢復約20%以上，惟仍需進行                處。而隨著持續的正逆脫附切換，                  的潔淨空氣相對於原本180ppm
 圖7 ，可看出轉輪在製程氣體入出口  為10mm之樣本  圖8。另外取相同  首先將新鮮轉輪切片加熱至200℃  較長期的測試後方可驗證此結果。  VOCs出口濃度在一個月後已可以  進行測試，轉輪出口濃度降低
                                              穩定小於1.4ppm以下 圖10 ，出口處            0.6ppm，總排放量降低12%，另
 處有明顯的變色情形，針對圖中的  尺寸的新鮮沸石共七個樣本進行吸  一小時後，浸泡在甲苯(toluene)化
                                              理濃度改善12%、去除率超過99%                外作為脫附用載流氣體，若是可提
 藍色區塊進行轉輪切片，取出厚度  附測試。  合物中兩小時，使其吸附甲苯化合                                        升脫附出口溫度(T5)，則當T5溫度



 36                                                                                 FACILITY JOURNAL          SEPTEMBER   2019  37
   32   33   34   35   36   37   38   39   40   41   42