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 技術專文

                      Wet Cyclone Participator of



                    PM2.5






                    Reduction







                      in Local Scrubber







                      應用濕式旋風集塵器於製程尾氣


                      處理設備改善細懸浮微粒研究







                       PM2.5 空氣污染與健康危害之議題近年開始受到重視，為因應民眾對環境品質要求提升的期望，本研究探
                      討目前半導體業界粒狀物防制技術應用，以及製程尾氣處理設備 (Local Scrubber,LSC) 後端酸性排風管所產
                      生阻塞問題，本研究使用濕式旋風集塵技術來處理風管阻塞問題及改善 PM2.5，提供未來長期系統改善建
                      置新方法之參考。

                      關鍵詞／細懸浮微粒、粒狀物防制技術、製程尾氣處理設備
                      Keywords/ PM2.5, Particulate Matter Control Technology, Local Scrubber

                      文│張聖杰│中科廠務一部│


                     前言                                             空氣品質指標為依據監測資料將當日空氣中臭氧
                                                                    (O 3 )、細懸浮微粒(PM2.5)、懸浮微粒(PM10)、
                                                                    一氧化碳(CO)、二氧化硫(SO 2 )及二氧化氮(NO 2 )
                     一打開電視，新聞又播報著今天台灣西半部地                           濃度等數值，以其對人體健康的影響程度，分別
                     區，多數環保署空氣品質監測站已達紫爆標準，                          換算出不同污染物之副指標值，再以當日各副指
                     造成現在台灣民眾每天早上最新的流行問候語就                          標之最大值為該檢測站當日之空氣品質指標值
                                                                    (AQI)，如 表1所示。
                     是：您今天戴口罩了嗎？2016年12月1日，環
                     保署對空氣品質優劣之指標，改以「空氣品質指                          「髒空氣」會致病、致癌，而空氣中的污染物，
                     標」(Air  Quality  Index,  AOI)取代過去的「空氣污         又以PM2.5（粒徑在二．五微米以下懸浮微粒的
                     染物標準指標」(Pollutant Standard Index, PSI)、        通稱）威脅人類健康日趨嚴重，PM2.5直徑示意
                     其細懸浮微粒(PM2.5)併陳的方式，其定義如下：                      圖如 圖1所示。



                                                                            2012 年加入台積電至今，很榮幸可以與一群那麼傑出
                                                                         聖 杰
                                                                            的夥伴共事，特別感恩公司帶給我如此好的生活，期
                                                                            許自己未來持續遵循張忠謀創辦人對員工的叮嚀：「努
                                                                            力工作、平衡生活」。
                                                                        張 Scott Chang


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 中科十五廠一期製程尾氣處理設備濕式旋風集塵器  攝影/ 洪湘寧
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