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Vision
新象新知
the first peak of the 1minute/1minute cycle was missed. • Case2 : 以供應氣櫃為單位(一對一)，於各別氣瓶櫃出
口採樣分析。
連續式分析屬於被動式分析，在氣體供應後才執
行分析，無法有效避免品質異常的氣體影響產品。
② 批次式分析 : 在氣瓶櫃左/右側盤Vent line安裝批次式氣
體品質快篩系統，於鋼瓶上線供應前篩選出不合格鋼瓶。
• Case1 : 以單一氣櫃為單位，氣瓶櫃內左/右側鋼瓶共
用一組分析儀。
• Case2 : 以單一氣櫃為單位，氣瓶櫃內左/右側鋼瓶分
別設置分析儀。
圖13、SAW與CRDS的反應時間比較(資料來源 : Ball Wave Inc.) • Case3 : 另設分析儀Rack，分別分析需要採樣的鋼瓶
批次式分析屬主動式分析，在鋼瓶上線供應前即
4. 系統設計 先採樣分析，可有效預防品質異常鋼瓶影響產品。
4.1 系統設計概念 針對連續式分析與批次式分析兩方案優缺點比較分析
如 表3。
當收到氣體廠商送來的氣體鋼瓶後，執行確認成份分
由 表3得知連續式其優點可全程監控鋼瓶品質，避免
析檢驗報告(Certificate of Analysis, CoA)的步驟才提供至
氣體進行分析的浪費，但當偵測到品質異常時無法辨別那
供應系統準備上線，然而氣體鋼瓶正式上線供應給製程端
一支鋼瓶所造成。針對品質快篩設計概念，必須事前預防
時，卻經常發生氣體品質有異，進一步影響後端產品的良
品質異常以避免製程損失，故選擇以批次式分析採樣。
率；有鑑於此此計畫開發一鋼瓶氣體品質快篩系統(如 圖
14)，藉由在氣瓶櫃供應端配置一組快篩分析儀盤面(含超 4.2 系統配置分析
音波分析儀)，當新鋼瓶裝上氣瓶櫃後，準備上線前進行水
份檢測，若發現鋼瓶氣體品質異常或濃度未達製程標準， 批次式分析較適用於快篩系統，針對批次式分析建立
便能及早將其作更換，以防止氣體內的不純物嚴重影響到 氣體品質快篩系統，在鋼瓶上線供應前即先採樣分析，預
製程設備及產品。 防品質異常鋼瓶。對此概念深入提出兩種設計，圖15為內
建式系統於氣瓶櫃內，圖16為外掛式系統於氣瓶櫃外。
由兩種配置可比較出外掛式快篩系統需要額外建置空
間，維護成本也較高，採樣管路將拉長每次分析後進行沖
吹管路需使用較多N 且較為耗時，且因獨立配置一套系統
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需搭配的額外Utility成本，相較內建式快篩系統較高。
5. 結論與建議
圖14、鋼瓶氣體品質快篩系統(資料來源 : 本文整理)
5.1 系統設計與配置
系統設計需著重在安全、體積、成本作為基礎的考量
，可設計為連續式分析及批次式分析二種模式： 在本質安全、操作安全、成本效益等多方面的考量下
，採用批次內建式分析應為最佳模式，不僅不增加額外空
① 連續式分析 : 在氣瓶櫃供應至閥箱之間的製程氣體管路 間，更可藉由氣櫃本體的安全元件(排氣、氣體偵測器、溫
上安裝連續式氣體品質快篩系統，此機制為鋼瓶上線供應 度偵測器、滅火設備、緊急遮斷裝置等)來確保系統安全。
後執行分析，持續監控氣體供應品質，可再細分為兩種設 分析時機點在鋼瓶更換進行鋼瓶真實氣體充吹階段，
計。 利用實氣充吹過程的排放氣體進行檢測，不僅可節約且不

• Case1 : 以同一Loop內(多對一)的供應氣櫃為單位， 會增加人員太多的操作步驟。系統配置與硬體規劃如 圖17
於氣瓶櫃出口經匯流後採樣分析。 與圖18，分析流程規劃如 圖19。

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