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表3、連續式與批次式之優缺點(資料來源 : 本文整理) 79 70
分析架構 Case 設計方式 優點 缺點
連續式 1 以同一Loop內的供應氣櫃為單位 a.全時監測供應鋼瓶品質 a.鋼瓶供應才進行分析，無法事先預知異常
，匯流後採樣分析 b.分析後的氣體回到process line， b. 品質異常無Interlock機制
不會浪費原料
2 以供應氣櫃為單位，個別採樣分析 a.全時監測供應鋼瓶品質 a.分析的氣體排放，造成原料浪費及增加scrubber耗材成本
b.鋼瓶個別採樣可分辨異常 b.鋼瓶供應才進行分析，無法事先預防異常
c.品質異常無Interlock機制
批次式 1 以單一氣櫃為單位，左右側共用一 a.模組空間小置於氣櫃內可行 a.需人員操作採樣
組分析儀 b.左右鋼瓶共用分析儀器，空間與 b.無法全時監測品質
建置成本低
c.上線前可掌握品質，有效杜絕鋼
瓶異常
2 以單一氣櫃為單位，左右側分別設 a.模組空間小置於氣櫃內可行 a.需人員操作採樣
置分析儀 b.上線前可掌握品質，有效杜 b.無法全時監測品質
絕鋼瓶異常 c.需設2組分析儀，建置成本高
c.可設左右分析儀交叉比對
3 另設分析rack，分別分析需要採樣 a.依分析盤面可分析多組氣瓶櫃 a.需人員操作採樣
的鋼瓶 b.上線前可掌握品質，有效杜絕鋼 b.建置成本高且需額外空間置
瓶異常 c.分析儀櫃需設洩漏偵測與相關安全措施
c.分析盤面閥件狀態、分析結果可 d.無法全時監測品質
訊號回傳 e.取樣管長需較長時間Purge
圖15、內建式快篩系統(資料來源 : 本文整理) 圖17、系統配置(資料來源 : 本文整理)
圖16、外掛式快篩系統(資料來源 : 本文整理) 圖18、系統硬體規劃(資料來源 : 本文整理)
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