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圖9明顯看出在多次的水份濃度的變化測試下，再現 同時在 圖12中可看出，SAW與CRDS所偵測到的水份讀值 77 57 58 79 60
性平均數值均在±1°C(霜點)的範圍內，證明表面聲波分析 接近，精準度與CRDS可相匹配。
穩定度遠高於紅外線感測和光腔衰盪感測。
圖11、SAW與CRDS水份反應時間比較(資料來源 : Ball Wave Inc.)
圖9、再現性測試曲線圖(資料來源 : Ball Wave Inc.)
此外也同步與CRDS(Cavity Ring-Down Spectroscopy
，光腔衰盪光譜)進行比較。測試條件如下：

• Background gas : Nitrogen

• Flow rate : 500sccm
• CRDS : Tiger Optics HALO3

• FTm(SAW Sensor) : FT-300WT with a sensor-head
cooling-unit
• Set values : 0, 130, 260, 650, 1300 ppbv

由 圖10可看出同時注入具有260ppbv水份的N ， 圖12、SAW與CRDS水份反應時間比較(資料來源 : Ball Wave Inc.)
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CRDS的反應時間需要40秒，然而SAW Senor僅需6秒。
當設定水份濃度目標值為600ppbv和150ppbv的狀態
CRDS偵測到N 的時間與SAW Sensor相比，會多出1.3分鐘
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，主因為CRDS需經較長的程式計算後產出數值。 下(如 圖13)，進行1min/1min和2min/2min的循環測試，當
循環測試時間為2min/2min時，CRDS的讀值會與設定的目
標值(600ppbv/150ppbv)誤差範圍在-30%/+80%，其誤差
值確切地顯示出CRDS在反應水份濃度的速率上明顯低於
SAW的表現。
綜合測試數據得知快篩系統中的表面音波水份分析的
檢測速度遠優於傳統氣體品質分析儀所分析氣體的速度，
對於實際現場人員更換鋼瓶效率和鋼瓶供應效率上有非常
顯著的提升。
另外有別於傳統分析儀因腔體本身材質的限制下，只
能檢測大宗氣體的限制，SAW表面聲波分析技術除了能運
用在一般的惰性氣體檢測上，更能針對如B H 、GeH 、
圖10、SAW與CRDS反應時間比較圖(資料來源 : Ball Wave Inc.) 2 6 4
SiH 等製程中重要的特殊氣體進行在線快篩分析，不但解
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藉由SAW與CRDS的反應時間測試中觀察到，圖11顯示 決了傳統水份分析儀在製程上的使用限制，其快速的反應
出初始反應時間比較數據，當氣體流量控制器注入帶有水 時間及再現性的高穩定度，使得SAW Sensor更迫切需要導
氣的N 時，SAW能迅速監測到突發的濃度讀值，反觀 入在廠務供應系統中。
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CRDS在偵測初始水份濃度讀值時，無法反應其真實數據。

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