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3.2.6 ASRS系統online狀態下異常無警報
ASRS+DHL系統運轉啟用至今。透過分析DHL運轉
自動÷系統全自動 ③online÷人員介入處理中,需人為下
KPI,找出關鍵警報,如 表2,並逐一克服改善前6大問題
指令,無法全自動運轉。初期人員維護系統時復歸時皆未
,有效的將異常發生率從運轉初期的11.4%降至1%,MTTR
切至正確之自動狀態,故與廠商討論將online狀態改成異
從2.5降至0.21hrs/次,MTBF也從51提升至224hrs,有效提
常狀態,並發出警報,以提醒管理者系統已進入異常處理
升了系統可靠度。
模式。
此外,透過大數據分析,也能看出自動倉儲對於桶裝
化學品進料到退桶所節省的工時,如 表3,自動倉儲不僅
大幅節省了庫房操作員入庫/出庫/領料的動作,從ASRS直
接將桶裝化學品傳輸進入DRU的工作,也讓棧板工作時間
從原本60分鐘大幅降低至只需要花費20分鐘,整體傳輸時
間節省了67%。
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2. 文獻探討 法需仰賴酸劑及氧化劑進行反應,缺點是要定期補充更換 300nm波長下有明顯吸收峰,如 表3所示,而且是自來水 背景建立 數據收集 改善分析 79 70 ASRS系統狀態可分3種:①手動÷由人員手動操作 ② 4. 結果與分析
,用以推估水中TOC及COD之濃度。以下將針對吸收光譜
。燃燒氧化法則是透過加熱方式來氧化,燃燒過程產生的 和廢水中的主體有機物,然而目前對於非雙鍵的有機物部 水質特性分析 吸光數據收集 干擾因子分析 影響因子、降低干擾方法驗證結果;以及水樣經稀釋與過
2.1 水質分析方法與發展現況
副產物可能會干擾偵測。相較於以上三種分析方式,吸收 分,應用於生物處理系統的試驗結果亦準確,因此UV 可 吸光機制整理 迴歸分析 光譜量測比對 濾之前處理程序前後所建立的濃度模式驗證結果進行討論
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有機污染物含量的綜合指標主要包括COD和TOC。 光譜法操作條件最為簡單,分析時間短且無藥劑需求,如 作為反映有機物含量的替代指標。 ,探討經前處理程序後是否能將濃度推估模式於驗證上有
COD為目前用於評估水中遭受有機物污染的程度,分析方 表2所示。 圖1、研究流程說明 更精確的結果。
表3、芳香族於紫外光的最大吸收波長 [3]
式主要可歸納成氧化法及吸收光譜法兩大類。其中氧化法
2.2 光譜技術應用於水質量測 3.1 背景建立 4.1 瓶杯實驗
分為重鉻酸鉀氧化法、高錳酸鉀氧化法、臭氧/紫外光氧化 化合物 λ max 最大吸收波長(nm)
Benzene 苯 C H 6 256
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法以及高溫燃燒法,重鉻酸鉀氧化法與科管局現行測量方 2.2.1 UV 的定義 Toluene 甲苯 C H -CH 3 261 本研究利用吸收光譜進行分析,故先對光譜量測上產 將半導體廠區自來水與放流廢水分別以吸收光譜與傳
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法相同,但藥劑使用量過大及分析時間長為難以克服的障 m-xylene 間二甲苯 C H (CH ) 3 2 263 生影響之因子進行分析,包括水中的成分與水質特性。實 統量測方法(詳見 表4)比對TOC及COD濃度,並以不同倍
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礙。高錳酸鉀氧化法原理與重鉻酸鉀氧化法類似,差別在 UV 是指在254nm波長,單位比色皿光程下的紫外光 Chlorobenzene 氯苯 C H Cl 265 驗將以半導體廠區自來水及放流水進行,由於水中為多種 率稀釋水樣後記錄量測數據,圖2為自來水TOC-UV 不同
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C H OH
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Phenol 酚
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於使用高錳酸鉀作為氧化劑,但其氧化力較弱,可能影響 吸收值。關係式如下 : Phenolate ion 酚離子 C H O - 287 成分混合之水樣,水中含有許多顆粒、有機物、無機物及 濃度下關係圖,圖3為放流廢水COD-UV 不同濃度下關
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分析準確性。臭氧/紫外光氧化法使用臭氧與紫外光,將水 UV =[A/b]×D Aniline 苯胺 C H NH 2 3 + 280 各種金屬離子等,當該成分對光會產生吸收、散射、反射 係圖,經由線性迴歸,我們可以得到254nm波長吸收光譜
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Anilinium ion 苯胺離子
C H NH
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中有機物氧化成二氧化碳後換算成COD值,但設備成本過 UV : UV值(m ) Thiophenol 硫酚 C H SH 269 等作用就可利用光譜測得。此外水中存在的顆粒性物質, 對於COD與TOC濃度的關係式,並從判定係數(R )了解推
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高為其最大缺點。高溫燃燒法則是加熱至600℃~900℃將 b : 比色皿光程 Naphthalene 萘 C H 8 286 因散射作用使照射光之能量產生衰減,於光譜量測上造成 估模型的適配度(R >0.9),依據所選用的光徑長度(path
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C H CH=CH
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Styrene 苯乙烯
有機物氧化成二氧化碳濃度後換算成COD值,但因其耗能 A : 實測吸光度 6 5 2 吸光度的提升;物質因結構、鍵結與呈現顏色的關係,將 length)不同,UV 對應區間為0.01-3000m ,由此驗證
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造成運轉成本較大。相較於以上四種分析方法,吸收光譜 D : 稀釋因子(最終水樣量/初始水樣量) 2.2.3 UV 於水質量測的應用 對光將產生吸收作用,具有吸光效應,於光譜量測上形成 254nm吸收光譜應用於量測TOC及COD濃度的可行性。
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法操作條件最為簡單,分析時間短且無藥劑需求,如 表1 吸收波峰。利於本研究後續階段干擾因子的辨別。
5. 結論 15P7成功導入了ASRS+DHL模式,改變了半導體廠化 2.2.2 UV 作為有機物含量替代指標 William曾指出溶解性物質在水中以分子形態存在,特
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所示。
學品物流運作邏輯,大幅減少了人力輸送所需的時間。目 定波長的能量通過分子時會改變其鍵結電子的能階,光能 3.2 數據收集
經過一年多的努力,廠務終於建構出ASRS+DHL化學 TOC代表了水體中全部有機物的含量,傳統測定原理 UV 是衡量水中有機物指標的一項重要控制參數,水
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前各式酸、鹼類化學品已經完全導入此系統,惟有機化學 因此被吸收,在光譜上即形成吸收峰。以有機物而言,吸
品物流新標準。廠務在最先進的N5/N7新廠區藉由收集安 是基於把不同形式的有機碳(OC)通過氧化轉化為易定量測 中有機污染物在254nm波長下具有吸收峰,透過量測主體
品(solvent) 礙於系統防爆設計規畫及法規檢討尚未完成, 收峰多半在紅外光區及紫外光區,紅外光區的吸收與鍵結 本研究針對以半導體廠區自來水及放流水進行分析,
裝/試車/運轉,各個階段的使用者經驗,得出許多寶貴的 定的CO ,利用CO 與TOC之間碳含量的對應關係,從而 有機物的紫外光吸收值,可以反映有機物成分變化。因
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仍需人力搬運上機。未來展望繼續開發防爆型ASRS,期望 之共振有關,而紫外光區之吸收則與其官能基有關 。光 首先以批次方式採集自來水及放流水,藉由實驗室儀器off-
[4]
智慧結晶。整理如下: 對水溶液中TOC進行定量測定,主要分為電導法、過氧焦 UV 並非針對單一有機物進行測定,而是反映多種有機物
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有朝一日有機化學品也能達成全自動化倉儲。本專案歸功 譜早期應用於水質檢測的方法較簡單,Dobbs曾發表以 line方式分析水質特性,分析項目包含COD、TOC以及吸
硫酸鹽氧化法及燃燒氧化法。電導法及過氧焦硫酸鹽氧化 的濃度變化,其中含共軛雙鍵或苯環的有機物在250~
① 系統安裝: 於廠區的即時回饋和設計部的快速反應,讓問題迎刃而解 254nm的波長進行廢水的TOC量測 ;Mrkva也發表過以 收光譜等,量測水質之設備有TOC分析儀以及分光光度計
[5]
• 與DHL傳輸的RGV馬達傳送速度改為5m/min ,也讓新廠區來得及站在巨人的肩膀上,避免重蹈覆轍。 254nm的波長比對經過濾的飲用水、廢水的COD 。綜合 ,本研究水質特性分析項目、方法與分析設備,如 表4所
[6]
期許這些經驗傳承,能讓既有廠區降低轉型所需面對的未 前人的研究成果,我們希望以補償的方式去除待測物干擾 示,均符合環檢所公告標準方法。利用線性迴歸建立254
• DHL與RGV距離增加free roller使距離小於30cm
知風險,建立信心開始發展新世代的桶裝化學品高速物流 ,運用UV 獲得各種水質的特徵參數,建立相關預測模型 nm波長吸收光譜對於COD與TOC濃度的推估模式。
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• 對照式sensor安裝 系統。 ,利用數學方法取得水質參數的相對關係,實現快速量測
表4、水質特性分析項目與檢測方法
• 帶狀式leak sensor 未知水樣的TOC或COD等需求。
分析項目 分析方法或設備
• manual port自動門安裝 參考文獻 COD 重鉻酸鉀氧化法(NIEA W515.55A)
3. 研究方法 TOC 膜電導法(NIEA W534.50C)
② 試車階段 : 增加測試棧板種類與數量,及早發現運轉問 [1] 呂明山(2018)。工業4.0時代來臨∶機械工業4.0。科技大觀園
。2018年10月1日,取自https://scitechvista.nat.gov.tw/c/s 吸收光譜 分光光度計(254nm)
題,及早調整。 gTm.htm 本研究依據Beer-Lambert吸收光譜原理,利用紫外線
[2] 自動化立體倉儲的優越性-MBA智库百科,http://wiki.mbal
③ 運轉階段 : 共有6項改善,皆已列入標準設計。 ib.com/zh-tw/自動化立體倉儲的優越性。 /可見光吸收光譜分析方法,探討水中TOC及COD濃度與 3.3 改善分析
[3] 智慧物流與倉儲專輯-RFID讓倉儲系統全面透明化,DIGITIMES 吸收光譜間之關係。本研究將以半導體廠區自來水及放流
• 運轉資訊不足 : 建立運轉KPI 企劃2013。 本研究依據Beer-Lambert吸收光譜原理,利用吸光度
水進行數據收集,迴歸分析找出濃度與吸光度的關係,探
• 定位sensor調整÷提早於試車階段驗證 討影響吸收光譜分析準確性的可能原因,進而建立量測 與有機物濃度呈現良好的線性關係作為推估模式建立之基
• 定位sensor誤作動÷增加集光罩 TOC及COD的分析模式。 礎。除有機物因素外,其餘影響顯著者則視為本研究量測
本研究架構將分成三大階段,如 圖1所示,第一階段 上之干擾因子,進而進行干擾因子的排除與改善驗證。透
• DRU棧板傳送卡板÷DRU改雙動力滾輪 過兩種水樣前處理方法,分別為稀釋及過濾,驗證前處理
為背景建立,包括對於水質特性分析、吸收光譜原理機制
• 棧板膠膜干擾÷增設異常警報延時 、水中物質吸光作用機制之瞭解;第二階段為數據收集, 是否能達到干擾去除或干擾降低之目標。
• ASRS系統online狀態下異常無警報÷增設異常警報 包括水中TOC及COD濃度的量測與吸光度的比對;第三階
4. 結果與分析
,提醒管理者已進入半自動操作 段為改善分析,包括干擾因子之驗證與改善。
本研究嘗試以吸收光譜建立TOC與COD濃度之量測方
法,直接採用半導體廠區自來水及放流廢水建立量測數據
81 82 83 84 85 86 87 88 FACILITY JOURNAL 1 2 2 0 2 0 89 90
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