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                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                              ASRS+DHL系統運轉啟用至今。透過分析DHL運轉
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        自動÷系統全自動 ③online÷人員介入處理中，需人為下
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                          KPI，找出關鍵警報，如 表2，並逐一克服改善前6大問題
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        指令，無法全自動運轉。初期人員維護系統時復歸時皆未
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                          ，有效的將異常發生率從運轉初期的11.4%降至1%，MTTR
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        切至正確之自動狀態，故與廠商討論將online狀態改成異
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                          從2.5降至0.21hrs/次，MTBF也從51提升至224hrs，有效提
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        常狀態，並發出警報，以提醒管理者系統已進入異常處理
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                          升了系統可靠度。
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        模式。
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                              此外，透過大數據分析，也能看出自動倉儲對於桶裝
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                          化學品進料到退桶所節省的工時，如 表3，自動倉儲不僅
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                          大幅節省了庫房操作員入庫/出庫/領料的動作，從ASRS直
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                          接將桶裝化學品傳輸進入DRU的工作，也讓棧板工作時間
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                          從原本60分鐘大幅降低至只需要花費20分鐘，整體傳輸時
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                          間節省了67%。
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                                                                                                                                          78
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                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        80
                                                    TSMC / FACILITY DIVISION PUBLISHED                         77 57                      58                                                                                                                                                                                                                                 79                         60  ASRS系統狀態可分3種：①手動÷由人員手動操作 ②                    4.  結果與分析
                  VOL.40
                                                         廠務季刊
                                                          URL.http://nfjournal/
                  水質監測以UV 取代TOC/COD分析儀可行性評估
                                  254
                  The Feasibility of Using UV  to Replace TOC/COD Analyzer
                                                 254
                                                                                         文│張得威 王世民│竹科廠務五部│
                 關鍵詞 / Keywords                   摘要
                 總有機碳 / TOC                           因應半導體製程日趨進步，傳統總有機碳(Total Organic Carbon, TOC)及化
                 化學需氧量 / COD                      學需氧量(Chemical Oxygen Demand, COD)監測方式分析時間長，較難反映水
 5.  結論  15P7成功導入了ASRS+DHL模式，改變了半導體廠化  吸收光譜 / Absorption Spectrum  質的快速變化，本文根據Beer-Lambert吸收光譜原理，探討UV 取代傳統TOC
                                                                                                    254
 學品物流運作邏輯，大幅減少了人力輸送所需的時間。目                        及COD監測技術的可行性，相較於傳統分析方式，光學方法具有快速量測、不
 經過一年多的努力，廠務終於建構出ASRS+DHL化學
 前各式酸、鹼類化學品已經完全導入此系統，惟有機化學                        需外加藥劑、維護成本低等優點。研究以實廠原水為例，利用吸收光譜收集數據
 品物流新標準。廠務在最先進的N5/N7新廠區藉由收集安
 品(solvent) 礙於系統防爆設計規畫及法規檢討尚未完成，                  並以迴歸分析技術建立TOC與COD在254nm吸收光譜下的推估模型，找出影響
 裝/試車/運轉，各個階段的使用者經驗，得出許多寶貴的
 仍需人力搬運上機。未來展望繼續開發防爆型ASRS，期望                      吸收光譜分析準確性的可能原因進行改善，經過驗證後，可作為未來開發水質自
 智慧結晶。整理如下：
 有朝一日有機化學品也能達成全自動化倉儲。本專案歸功                        動量測技術之基礎。
 ① 系統安裝：  於廠區的即時回饋和設計部的快速反應，讓問題迎刃而解
   •  與DHL傳輸的RGV馬達傳送速度改為5m/min  ，也讓新廠區來得及站在巨人的肩膀上，避免重蹈覆轍。
 期許這些經驗傳承，能讓既有廠區降低轉型所需面對的未  1.  前言
   •  DHL與RGV距離增加free roller使距離小於30cm
 知風險，建立信心開始發展新世代的桶裝化學品高速物流
   •  對照式sensor安裝  系統。  水質監測技術是目前環境監測的一個重要發展項目，                    管控。
                 對半導體製程的水處理來說，無論是自來水或放流水，都                             然而傳統TOC及COD監測方式分析時間長，較難反映
   •  帶狀式leak sensor
                 需要及時掌握水質變化以便因應調整與控制。自來水常見                         水質的快速變化，且需仰賴化學藥劑進行反應，容易衍生
   •  manual port自動門安裝  參考文獻
                 的分析指標為TOC，在半導體製程中，純水中的總有機碳                        現場管理及廢棄物等環保問題。為了有效解決傳統量測或
 ② 試車階段 : 增加測試棧板種類與數量，及早發現運轉問  [1]    呂明山(2018)。工業4.0時代來臨∶機械工業4.0。科技大觀園  濃度過高會使晶圓片表面氧化及結晶缺陷，元件性能劣化  實驗分析面臨的以上困境，以光學頻譜分析方法發展自動
 。2018年10月1日，取自https://scitechvista.nat.gov.tw/c/s
 題，及早調整。  gTm.htm  導致刻蝕不均勻，清洗效率不佳，進而影響生產品質，因                       監測技術成為機會點，擁有快速量測及不需外加藥劑等優
 [2]    自動化立體倉儲的優越性-MBA智库百科，http://wiki.mbal
 ③ 運轉階段 : 共有6項改善，皆已列入標準設計。  ib.com/zh-tw/自動化立體倉儲的優越性。  此有必要進行連續監測。  點。
 [3]    智慧物流與倉儲專輯-RFID讓倉儲系統全面透明化，DIGITIMES  而放流水常見的分析指標為COD，顧名思義是以化學   本文根據Beer-Lambert吸收光譜原理，探討UV 取代
   •  運轉資訊不足 : 建立運轉KPI  企劃2013。                                                                             254
                 方法測量水樣中有機物被強氧化劑氧化時所消耗之氧的相                         傳統TOC及COD監測技術的可行性，利用254nm吸收光譜
   •  定位sensor調整÷提早於試車階段驗證  當量，用以表示水中有機物量的多寡。隨著半導體製程進              建立自來水TOC與廢水COD監測模型，並嘗試找出影響吸
   •  定位sensor誤作動÷增加集光罩  步，所使用的化學品日新月異，會對放流廢水的化學需氧                 收光譜分析準確性的可能原因進行改善，作為未來開發水
                 量造成貢獻，為了符合園區放流標準，需要對其進行監測                         質自動量測技術之基礎。
   •  DRU棧板傳送卡板÷DRU改雙動力滾輪
   •  棧板膠膜干擾÷增設異常警報延時

   •  ASRS系統online狀態下異常無警報÷增設異常警報
 ，提醒管理者已進入半自動操作                                                   張得威  David Chang         王世民  S.M. Wang
                                                                  成功不是憑夢想和希望，              氣候變遷和公司對社會承諾及自我要求，
                                                                  而是憑努力和實踐。                水回收的挑戰也越來高，因此對於新的
                                                                                           處理技術的引進也勢在必行。


 81  82  83  84  85  86                                                                      FACILITY JOURNAL          1 2   2 0 2 0  87  88                                                                                                                                                                                                                                 89                         90












































































































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