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                                                                                                   Notes
                                                                                                   技術專文
           4.  結果與分析                                         重計可確認排放的廢液含水率是否達允收標準，避免濃度
                                                             不足廠商拒收。系統新增分析儀器的好處雖然能第一時間
               針對先進製程廠設備廢酸排放進行站前管理，透過本
                                                             發現誤排狀況但安裝前須考量儀器使用後的問題，例如 :
           篇討論的兩大主題(管理層面及廠務系統強化)。以某先進
                                                             後續儀器保養、校正、維修及更換該如何執行及分析儀器
           製程廠為例，設備機台運作時會使用到氣態氫氟酸(HF)及
                                                             該安裝於現有系統的什麼位置、如何安裝及法規限制等，
           有機溶劑異丙醇(IPA)。設備機台廢液排放時，因機台有使
                                                             這些都是需再安裝前進行完整性的評估方可執行。對於未
           用IPA，因此廢液理應選擇SUS304管路，即為各廠通用之
                                                             來新蓋的先進製程廠，藉由先前的經驗分享，建議在管路
           材質管路；但在此案例卻選用SUS/Lining材質管路及WLS/
                                                             的選擇上直接選用較佳的材質，避免未來廢酸誤排造成的
           WCB改用防酸腐蝕的機台，其原因為機台運作過程中，
                                                             管路損壞；但對於既有成廠而言，礙於現有空間不足限制
           IPA使用後，廢液進行排放時，有機溶劑廢液中溶有大量氫
                                                             或系統現有管路考量等等，建議可評估加裝廢液即時監視
           氟酸化學氣體，造成廢液呈現酸性。
                                                             系統，及早預警誤排狀況的發生，如 圖8所示。
               分析此一案例成功因素在於能提早發現設備不同於平
                                                                 最後，公司營運最主要的考量為安裝花費的成本與獲
           常的運作方式，如 圖7所示，透過NTCC會議上深入了解
                                                             得的效益是否合乎比例原則，期望安裝這些設備能達到實
           機台運作過程、化學品使用方式讓廠務工程師能即早準備
                                                             質的效益，準確地在設備廢酸排放前及早預警異常，讓廠
           、施工修改廠務廢液系統(Submain/WLS/廢液桶槽/WCB)
                                                             務工程師及早執行相對應的措施；而非安裝後無使用的必
           及通報LWM專家們進行評估判斷廢液處理/清運方式。
                                                             要，變成擺放在現場的裝飾品，白白浪費金錢與時間。
 5.  結論  15P7成功導入了ASRS+DHL模式，改變了半導體廠化  As  SMOC/NTCC  機台硬體安檢確認  設備機台Turn on  表2、廠務系統即時監視系統強化對策(舉例)
            was  審查
 學品物流運作邏輯，大幅減少了人力輸送所需的時間。目                                    廠務系統強化安裝   適用系統    效益
 經過一年多的努力，廠務終於建構出ASRS+DHL化學  機台Recipe確認   (視需求)
 前各式酸、鹼類化學品已經完全導入此系統，惟有機化學  To   SMOC/NTCC                    pH meter   W-IPA   確認廢酸酸鹼度，避免設備誤排管路酸蝕
 品物流新標準。廠務在最先進的N5/N7新廠區藉由收集安  be  審查  (Process Flow Check)  機台Offline取樣  導電度計  W-IPA
 品(solvent) 礙於系統防爆設計規畫及法規檢討尚未完成，  LWM專家評估  量測排放特性混酸測試
 裝/試車/運轉，各個階段的使用者經驗，得出許多寶貴的                                   比重計        W-H3PO4  量測廢酸比重換算濃度，避免濃度過低廠商拒收
 仍需人力搬運上機。未來展望繼續開發防爆型ASRS，期望
 智慧結晶。整理如下：     設備機台       機台硬體安檢確認       廠務系統確認/擴充
 有朝一日有機化學品也能達成全自動化倉儲。本專案歸功  Turn on
 ① 系統安裝：  於廠區的即時回饋和設計部的快速反應，讓問題迎刃而解                              導電度計/pH meter  比重計建議
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                                                                 建議安裝位置
   •  與DHL傳輸的RGV馬達傳送速度改為5m/min  ，也讓新廠區來得及站在巨人的肩膀上，避免重蹈覆轍。  圖7、管理層面建議新增審查項目
 期許這些經驗傳承，能讓既有廠區降低轉型所需面對的未
   •  DHL與RGV距離增加free roller使距離小於30cm
 知風險，建立信心開始發展新世代的桶裝化學品高速物流  5.  結論
   •  對照式sensor安裝  系統。
               隨著先進製程不斷的演進，化學品的選擇及搭配上越                         W-IPA WLS                  W-H PO  WLS
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   •  帶狀式leak sensor  來越多樣化，間接讓廢酸的收集及處理上有更多不同以往
   •  manual port自動門安裝  參考文獻  的運作方式。本篇以某先進製程廠為例，透過設備機台裝            圖8、廠務系統即時監視系統建議安裝位置(舉例)
 ② 試車階段 : 增加測試棧板種類與數量，及早發現運轉問  [1]    呂明山(2018)。工業4.0時代來臨∶機械工業4.0。科技大觀園  機前的文件審查(SMOC)、會議討論(NTCC)的流程外，新
 。2018年10月1日，取自https://scitechvista.nat.gov.tw/c/s  增了解新製程方法的化學品使用，提前知曉設備機台廢酸  參考文獻
 題，及早調整。  gTm.htm
 [2]    自動化立體倉儲的優越性-MBA智库百科，http://wiki.mbal  排放後所造成的影響及加入廢資課專家的意見，得以讓廢  [1]    楊山毅，Fab15管溝清潔檢查暨除鏽專案結案報告，2019年。
 ③ 運轉階段 : 共有6項改善，皆已列入標準設計。  ib.com/zh-tw/自動化立體倉儲的優越性。        [2]    陳鴻賓，不鏽鋼的耐腐蝕性，防蝕工程第六卷第一期，1999年。
 [3]    智慧物流與倉儲專輯-RFID讓倉儲系統全面透明化，DIGITIMES  液能安全且合法的方式進行處理；此外，透過提前知曉設
   •  運轉資訊不足 : 建立運轉KPI  企劃2013。  備排放的廢酸性質，得以讓廠務檢視系統的能力，如有不
   •  定位sensor調整÷提早於試車階段驗證  足之處可提前部屬，避免因系統無法承受需緊急搶修影響
           廠區運作造成生產停擺。
   •  定位sensor誤作動÷增加集光罩
               雖然透過設備裝機前的會議及文件審查中能發現的情
   •  DRU棧板傳送卡板÷DRU改雙動力滾輪  況，可讓廠務端及早準備；但在機台的操作過程中，難免
   •  棧板膠膜干擾÷增設異常警報延時  會有人員誤操作的機會，發生廢酸誤排的狀況，造成廠務
           系統的損壞。因此，廠務系統強身健體將是最重要的一環
   •  ASRS系統online狀態下異常無警報÷增設異常警報
           ，唯有強化自身系統，才能達到提前預警的功能。未來，
 ，提醒管理者已進入半自動操作
           廠務系統可新增分析儀器長眼睛即時監視設備排放狀況，
           如 表2所示，例如 : 新增pH計、導電度計可確認廢液排放
           性質(酸鹼度)掌握設備有無誤排狀況，廢磷酸系統新增比
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