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Tech 79 70
Notes
技術專文
① 設定隔震台啟動加速度為20gal之測試結果： 表5、40gal之加速度反應
• 加速度反應：(表3) X向 20gal 40gal 80gal 100gal 150gal 250gal 400gal 650gal 1000gal
• 位移反應：(表4) Top of Facility 21.6 22.5 31.4 36.4 36.6 46.9 50.7 69.4 107
Top of Boat 243 367 447 432 413 430 430 435 428
• 反應比較圖：(圖15) Bot. of Boat 15.3 17.3 21.4 23.8 23.9 29.2 30 39.8 58.3
Base 14.3 16 20.9 22.8 23.3 24.9 28.3 31.3 46.9
Y向 13gal 25gal 51gal 65gal 98gal 158gal 253gal 411gal 632gal
表3、20gal之加速度反應
Top of Facility 40 50.6 55.9 61.3 69 79.3 93.9 120 120
X向 20gal 40gal 80gal 250gal 400gal 650gal 1000gal Top of Boat 422 510 491 495 504 547 574 664 687
Top of Facility 14.9 17.2 20.6 34.9 40 58.9 87 Bot. of Boat 25.9 29.7 30.6 33 35.9 42.6 50.7 58.9 62.3
Top of Boat 234 296 287 295 295 300 293 Base 11.4 13.4 17.4 18.7 20.7 25.1 27.2 32.2 32.6
Bot. of Boat 10.3 11.1 12.9 19 22.3 34.3 50.5
Base 9 10.3 14.8 17.8 20.4 24 37
800 800
Y向 13gal 25gal 51gal 158gal 253gal 411gal 632gal X Direction Start @ 40gal Start @ 40gal
VIO Base
Top of Facility 25.8 25.2 31.7 48.7 55.6 66.1 78 600 Bot. of Boat 600
Top of Boat
Top of Boat 236 215 257 289 316 406 433 400 Top of Facility 400 Y Direction
Bot. of Boat 16 13.8 16.9 23.3 27.9 35.1 38.4 Accel. Response (gal) Accel. Response (gal) VIO Base
Bot. of Boat
Base 6.7 7.1 10 14.7 18.9 20.6 26 200 200 Top of Boat
Top of Facility
0 0 ④ 無隔震條件之測試結果：
0 200 400 600 800 1000 0 200 400 600
表4、20gal之位移反應 Input PGA (gal) Input PGA (gal)
• 加速度反應：(表9)
40 25
X向 20gal 40gal 80gal 250gal 400gal 650gal 1000gal X Direction Y Direction • 反應比較圖：(圖18)
VIO Base
VIO Base
Top 3.21 4 1.91 7.2 14.1 27.3 44.3 30 Top of Facility 20 Top of Facility
Base 3.13 3.9 1.76 6.3 12.8 25.6 41.6 Disp. Response (mm) 20 Disp. Response (mm) 15
Y向 13gal 25gal 51gal 158gal 253gal 411gal 632gal 10
Top 1 1.4 2.63 6.5 9.8 13 19.6 10 5
Base 1.1 1 2.07 4.4 7.4 10 15 0 0
0 200 400 600 800 1000 0 200 400 600
Input PGA (gal) Input PGA (gal)
600 X Direction Start @ 20gal 600 Y Direction Start @ 20gal 圖16、40gal之反應比較圖 依據實驗結果與比較分析，得到下列幾點結論 :
Accel. Response (gal) 400 Bot. of Boat Accel. Response (gal) 400 Top of Boat ③ 設定隔震台啟動加速度為0gal之測試結果： ① 在無隔震的情況下，由於晶舟結構的關係，於微小的地震
VIO Base
VIO Base
Bot. of Boat
Top of Boat
Top of Facility
Top of Facility
200
(20gal)下便會產生加速度劇烈放大的效應，導致晶圓產生滑
200
0 0 0 200 400 600 • 加速度反應：(表7) 片的現象。
0 200 400 600 800 1000 • 位移反應：(表8)
Input PGA (gal) Input PGA (gal)
• 反應比較圖：(圖17) ② 啟始加速度設為20gal亦無法有效減小晶舟搖晃的現象，因
50 20
X Direction 16 Y Direction 此，必須將啟始值往下修正。
Disp. Response (mm) 30 20 Disp. Response (mm) 12 8 表7、0gal之加速度反應 ③ 不設定啟始值之測試結果良好，在400gal才開始產生微幅
VIO Base
VIO Base
40
Top of Facility
Top of Facility
27.1
Top of Facility
4.3
13.1
20.4
11.1
41.4
96.8
0 10 4 0 X向 20gal 40gal 80gal 250gal 400gal 650gal 1000gal 滑片現象。
0 200 400 600 800 1000 0 200 400 600
Input PGA (gal) Input PGA (gal) Top of Boat 9.9 15.4 22.8 44.6 77.2 154 217 綜合以上，最佳啟始加速度應設在0~20gal之間，若設為
Bot. of Boat 2.5 4.1 6.2 10.9 19.6 28.5 50.4 0gal，則隔震平台太敏感，會徒增設備維修的困擾；若設為20
圖15、20gal之反應比較圖 Base 2.5 4.5 5.9 10.7 18.4 27.1 38.3
Y向 13gal 25gal 51gal 158gal 253gal 411gal 632gal gal，則無法有效降低滑片的風險。如 圖21，最佳啟始加速度
Top of Facility 4.6 7.6 7.9 14.5 23.4 55.4 90.2 之參數設定應落在0~20gal之間，且應偏向0gal才能有效降低
② 設定隔震台啟動加速度為40gal之測試結果： Top of Boat 15.1 18.2 22.6 66.9 98.5 190 282
Bot. of Boat 1.6 2.4 2.9 7.8 13.4 29 39.1 依據實驗結果，將不同條件之數據做比較，其結果如下 : 晶舟搖晃程度。
• 加速度反應：(表5) Base 2.1 4.7 5.3 8.6 17.4 26.4 36.6
• 位移反應：(表6) • X向加速度反應比較：(圖19)
• 反應比較圖：(圖16) 表8、0gal之位移反應 • Y向加速度反應比較：(圖20)
X向 20gal 40gal 80gal 250gal 400gal 650gal 1000gal
表6、40gal之位移反應 Top 0.83 1.49 4.54 11.8 18.81 32 49.6
Base 0.88 1.42 4.35 11.9 18.17 30.7 48.4
X向 20gal 40gal 80gal 100gal 150gal 250gal 400gal 650gal 1000gal Y向 13gal 25gal 51gal 158gal 253gal 411gal 632gal
Top 0.83 2.41 2.19 2.32 3.64 5.74 10.5 21.6 38.4 Top 0.64 1.18 2.96 10.3 14.48 27.1 38.2
Base 0.82 2.33 2.15 2.33 3.66 5.78 10 20.5 36.7 Base 0.62 1.15 2.74 9.55 13.53 25.27 35.2
Y向 13gal 25gal 51gal 65gal 98gal 158gal 253gal 411gal 632gal
Top 0.99 1.53 2.67 2.89 4.02 7.64 9.7 17.1 20.3
Base 0.57 0.77 2.15 2.27 3.39 4.46 9.1 16.6 18.8
81 82 83 84 85 86 87 88 89 90

91 92 93 94 95 96 97 98 99 100