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以實際地震紀錄為參考，自1999年以來有造成晶片報廢 71 51 52 73 74
的地震共收集到有5次地震加速度記錄值(表13)。如果以這5
次地震模擬安裝隔震平台後，對於晶舟的保護效果來看(表14)，
隔震平台對於地震發揮了保護作用。在經過本案深入探討隔震
平台啟始加速度的設定值之後，在半導體製程機台隔震工程實
務上，能將每一個隔震平台發揮最大的功效來達到保護機台與
晶片的目的。
表13、地震加速度記錄值
項次 時間 規模 震度 地震峰值(gal) 測站位址
X Y
1 1999.09.21 7.3 4 60.8 51.1 善化國小
2 2006.12.26 7 4 30.3 31.2 善化國小
3 2010.03.04 6.4 5 111.1 78.2 善化國小
4 2010.03.04 6.4 5 220.4 141.2 14廠3F
5 2012.02.26 6.4 5 88.8 83.8 14廠3F
表14、隔震平台對於晶舟的保護效果
項次 地震事件 震度 輸入加速度 隔震裝置加速度 晶舟加速度
gal gal gal
X Y X Y X折減 Y折減 X Y X折減 Y折減
1 1999.09.21 4 61 51 3 5 95% 90% 18 26 70% 49%
2 2006.12.26 4 30 31 6 8 80% 74% 18 27 40% 13%
3 2010.03.04 5 111 78 31 26 72% 67% 65 57 41% 27%
4 2010.03.04 5 220 141 18 19 92% 87% 68 73 69% 48%
5 2012.02.26 5 89 84 5 7 94% 92% 26 31 71% 63%
圖24、主動式隔振基座
主動式隔振基座實績上已於其他公司應用於曝光機上，
基座設計圖如 圖23。
測振結果如 圖25，達到VC-E等級。
圖23、基座設計圖
實際安裝照片如 圖24。
圖25、主動式隔振基座測振結果
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