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Tech 73 74
Notes
技術專文
5. 結論
根據統計，爐管機台在運用隔震平台之前，因地震報廢
晶片損失初估至少5000片晶片，在安裝隔震平台之後，不
再有爐管機台之內的晶片報廢，可見隔震平台對於爐管機台
內晶片的保護重要性，以後隔震平台對於爐管機台已成為標
準配備。
當今全球半導體先進製程技術日新月異激烈競爭之際，除
了產品研發與製程良率要不斷努力提昇之外，如何保全我們的
努力成果以及避免地震災害，在台灣屬於地震帶的情況下，我
們也務必努力朝地震零災損的目標前進。
主動式隔振基座可以廣泛應用於半導體與光電產業的
製程與檢測儀器設備的環境振動控制，在製程越來越精密
的情形下，儀器設備對於環境振動隔離的要求也越來越嚴
格。傳統被動式隔振器無法滿足先進設備儀器的需求，必
須採用主動隔振基座。以國內半導體產業與其他精密電子
產業的蓬勃發展來看，此項技術應用的需求性一定會不斷的
增加。因此，使用精密儀器設備振動規範需求的主動隔振
式隔振基座，實為高科技產業所迫切需要的。
新 季刊 新 彈 發設計及
。
新 季刊 科、 科、 科 地 大
率與 策略。
新 季刊 設備的地 力設計 。
永 ， 台 介與應用，台大 建 。
新 季刊 設計及安 。
新 季刊 。
主 技術 介， 力學學 題 導。
[8] ， 高 者 用性 與 。
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