Page 92 - Vol.41

54
53
59
55
57
58
56
52
51
60
61
65
70
67
66
63
69
62
68
64
79
78
80
73
72
71
74
77
76
75
Tech
Notes
技術專文
若以地震造成的位移量來判斷，無論啟始值設在0gal或 震而造成的移動，例如人員誤推。
是20gal，殘留位移量都非常小，隔震平台啟動後，最後都會 設計參數時，考慮不是故意推機台而產生的力量碰撞，
[8]
落在機台可接受的範圍內。因此地震發生時，隔震平台有啟 若是不經意斜靠機台而產生的力量，則根據人因考量 ，啟動
動都可減緩晶舟的搖晃程度，但是還要考量避免不是因為地 加速度最佳參數設定7gal，可達到防呆效果(表10)。
表10、人因考量斜推力表
機台重量 啟始值(gal) 啟動平移力F(kg) 斜靠20度 可承受體重W(kg) 斜靠15度 可承受體重W(kg) 斜靠10度 可承受體重W(kg) 斜靠5度 可承受體重W(kg)
5300 1 5.4 0.32 17 0.25 22 0.17 32 0.09 62
5300 2 10.8 0.32 34 0.25 43 0.17 63 0.09 125
5300 3 16.2 0.32 50 0.25 65 0.17 95 0.09 187
5300 4 21.6 0.32 67 0.25 87 0.17 127 0.09 249
5300 5 27.0 0.32 84 0.25 108 0.17 158 0.09 312
5300 6 32.4 0.32 101 0.25 130 0.17 190 0.09 374
5300 7 37.9 0.32 118 0.25 151 0.17 221 0.09 436
5300 8 43.3 0.32 135 0.25 173 0.17 253 0.09 498
5300 9 48.7 0.32 151 0.25 195 0.17 285 0.09 561
5300 10 54.1 0.32 168 0.25 216 0.17 316 0.09 623
5300 11 59.5 0.32 185 0.25 238 0.17 348 0.09 685
5300 12 64.9 0.32 202 0.25 260 0.17 380 0.09 748
5300 13 70.3 0.32 219 0.25 281 0.17 411 0.09 810
5300 14 75.7 0.32 236 0.25 303 0.17 443 0.09 872
5300 15 81.1 0.32 252 0.25 324 0.17 474 0.09 935
5300 16 86.5 0.32 269 0.25 346 0.17 506 0.09 997
5300 17 91.9 0.32 286 0.25 368 0.17 538 0.09 1059
5300 18 97.3 0.32 303 0.25 389 0.17 569 0.09 1122
5300 19 102.8 0.32 320 0.25 411 0.17 601 0.09 1184
5300 20 108.2 0.32 337 0.25 433 0.17 633 0.09 1246
啟動加速度設定為7gal，加速度與位移反應與0gal和20gal 表11、7gal加速度比較表
啟動值的比較圖如 圖22，加速度比較表與位移比較表如 表11 20gal 40gal 80gal 250gal 400gal 650gal 1000gal
和 表12。 FREE DAMPING 設備頂端 4.3 11.1 13.1 20.4 27.1 41.4 96.8
晶舟 9.9 15.4 22.8 44.6 77.2 154 217
Base 2.5 4.5 5.9 10.7 18.4 27.1 38.3
800 40 START @7gal 設備頂端 6 12 14 23 27 39 89
Response (Top of Boat) X Direction 30 X Direction 晶舟 38 50 56 76 104 172 227
Accel. Response (gal) 400 20 gal Accel. Response (gal) 20 10 20 gal START @20gal Base 4 14.9 5 17.2 8 20.6 12 17 27 39
Free
Free
7 gal
7 gal
600
Fixed
34.9
58.9
40
87
設備頂端
200
20.4
9
Base
37
10.3
17.8
14.8
24
0 (250, 80) (400, 80) 0 Response (VIO Base) 晶舟 234 296 287 295 295 300 293
0 200 400 600 800 1000 0 200 400 600 800 1000
Input PGA (gal) Input PGA (gal)
表12、7gal位移比較表
80 80
X Direction Response (Top of Boat) 60 X Direction Response (Bot of Facility) 20gal 40gal 80gal 250gal 400gal 650gal 1000gal
Disp. Response (mm) 40 20 gal Disp. Response (mm) 40 20 gal FREE DAMPING 設備頂端 0.83 1.49 4.54 11.8 18.81 32 49.6
Free
Free
7 gal
60
7 gal
Fixed
3.5
晶舟
2
9.9
7
0.7
1.1
0.45
48.3
32.1
12.7
2.3
1.5
設備頂端
7.4
4.6
0 20 20 0 START @7gal Base 0.88 1.42 4.35 11.9 18.17 30.7 48.4
0 200 400 600 800 1000 0 200 400 600 800 1000
Input PGA (gal) Input PGA (gal) 晶舟 1.7 2.3 2.5 3.5 4.8 7.8 10.3
Base 1 2 4.4 11 16.1 31.2 46.8
圖22、7gal反應比較圖 START 設備頂端 3.21 4 1.91 7.2 14.1 27.3 44.3
晶舟 10.6 13.4 13 13.4 13.4 13.7 13.5
Base 3.13 3.9 1.76 6.3 12.8 25.6 41.6
81 82 83 84 85 86 87 88 89 90

91 92 93 94 95 96 97 98 99 100