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技術專文

表4、HAPAS、PTFE和PS於HF1% pre-qual inline KLA結果 4.6 濾心預洗、pre-qualilty及活體移植於異丙醇供應系統
Function SPC chart/KLA Map Results 一般濾心更換流程(POR)於異丙醇循環系統(IPA RU)，需
WET HAPAS Comparable
Clean 逐日洗淨、淨泡和取樣，於 圖28所示，更換後第1天即浸泡
出鈣、鐵、銅、鎂金屬殘留，雖經5天浸泡和洗淨有大幅度減
少，其過程異丙醇循環系統仍處於桶槽未循環狀態，即便過
程暫不將此異丙醇桶槽供應，處在單桶供應對於供應量較大
PTFE - -
PS Comparable 廠房來說，供應中斷風險極高；若採用活體移植流程(CIT)，
經異丙醇附屬測試供應系統(Pre-quality CDU)安裝後經短暫預
洗和取樣後，近乎無金屬殘留，濾心經轉移至異丙醇循環系
統後，再經過洗淨、淨泡和取樣，同樣得到和移植前結果。
從兩者更換後洗淨浸泡結果，即得到單日取樣結果差異，這
說明擁有單邊2支10吋串聯濾心且有獨立濾心排放路徑的附屬
表5、HAPAS、PTFE和PS於HF1% pre-qual offline PA結果
測試供應系統，比起單邊4支10吋串並聯濾心的循環系統，附
Function SPC chart/Offline PA Results
WET HAPAS Comparable 屬測試供應系統有較高的洗淨效率；另外，活體移植後，也
Clean 未出現金屬殘留，以 圖28結果為例，可於活體移植後2日，
將循環濾心上線供應，相較一般濾心更換流程(POR)，可縮短

PTFE Comparable 上線時程。

5. 結論
PS Comparable
評估新式濾心於供應系統需先根據產品型錄，確認適用
性，選擇適當的洗淨方式，以上述實驗對象中HAPAS濾心，
並不適用於HF化學供應系統中，除濾心耐壓(Pressure drop)性

表6、HAPAS、PTFE和PS於HF25% pre-qual inline KLA結果 不足外，即使透過較佳的擾流洗淨方式，在長時間浸泡下，
仍有大量金屬析出，最終需加長時間持續洗淨至無析出物，
Function SPC chart/KLA Map Results
WET HAPAS Comparable 才得以使用，雖然HAPAS濾心有較低的成本費用，但過程需
Clean
耗上大量化學品和時間，整體未必符合成本效益。
活體移植為新式濾心更換濾心之方法，適合用於長時間
清洗或需透過浸泡析出不純物或金屬，過程可減少單邊濾心
供應或循環濾心更換過程無循環，濾心經活體移植後，可短
PTFE - -
PS Comparable 時間內上線供應；即使無附屬測試機台，延伸至同概念系統
即可運用，例如 : 欲更換CR168混酸或供應系統之濾心，可
拆卸氨水75ppm混酸系統(NH 4 OH 75ppm CMU)單邊濾心，
此舉有助於對原本較差包材出貨品質(COA) UPE濾心，經預
洗(Pre-clean)和活體移植安裝於CR168混酸或供應系統，有較
表7、HAPAS、PTFE和PS於HF25% pre-qual offline PA結果 快速洗淨且消耗較少混酸化學品清洗之成本。唯更換作業安
全和二次汙染風險考量，微氮氣吹淨不足，未排空濾心內殘
Function SPC chart/Offline PA Results
WET HAPAS Comparable 液，使拆卸過程漏液；轉移濾心之環境或包裝袋沾汙，恐在
Clean
安裝於供應系統時，造成供應汙染。鑒於上述風險，可調整
系統設計，比照 圖20進行修改如 圖29，將可更換濾心之系
PTFE Comparable
統，追加管路路徑於附屬測試供應系統(Pre-quality CDU)，對
已更換洗淨之濾心，進行附屬測試供應系統補液和試車。

PS Comparable

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