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Tech
圖19、傳統洗淨程序
3.6 濾心預洗、pre-qualilty及活體移植方法
活體移植一詞出自醫學，將捐贈者器官轉移至具相容
性之受捐者體內，亦同於供應系統中濾心，轉移安裝於相同
供應系統中；考量5nm先進製程大宗和關鍵化學品(Critical
Chemical)供應品質，廠房於建置初期，主系統予與附屬測試
供應系統(Pre-quality CDU)，系統管表圖如 圖20，上游CCBTU
配管於此系統，系統內搭配250L桶槽、幫浦(Pump)、雙通
道濾心，系統下游至測試供應盤(Pre-quality VMB)和切換盤
(Switch Box)，最後連接於設備機台；測試供應系統目的為灌
充原物料前試吃，並量測設備機台單一酸源殘留顆粒量，因系
統雙通道配置，發展出將單邊或雙邊試車(pilot run)成功之濾
心，轉移其他相同濾心數量和尺寸之供應系統使用，其一減少
主供應系統在供應前進行試車、限時上線供應方式，仍有全面
影響產線其他機台設備之可能性，其次減少主供應系統更換
後，洗淨和取送樣次數，單邊供應壓降之風險。
圖20、Pre-quality CDU架構
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Notes
技術專文
活體移植流程分成移植前，如 圖21所示，需更換附屬測
試供應系統濾心進行預洗(Pre-clean)，經洗淨、浸泡、取樣分
析和試車(pre-quality)；活體移植前，測試供應系統濾心需執
行微氮氣吹淨，確認濾心內無殘酸後，再執行外蓋(Housing)
拆除，過程需避免高壓和長時間氮吹，預防濾心破孔或孔徑
殘氣；拆卸後，需連同濾心和外蓋(Housing)一同放置於夾鏈
袋內，並轉移至欲更換之供應系統安裝，完成洗淨、浸泡、
取樣分析。運用上述流程，實驗安裝4支10吋濾心5nm孔徑
PTFE(Entegris ® )濾心於IPA Pre-quality CDU預洗，完成金屬殘
留確認(Quality Check)和試車(Pre-quality)後，活體移植至IPA
RU，再清洗和取送樣，觀察金屬殘留變化，並與一般更換IPA
RU流程作為對照組。
4. 結果與分析
4.1 濾心包裝水金屬殘留量分析
將不同生產批號之3nm孔徑UPE(Entegris ® )濾心包裝水
送樣檢驗如 圖22，發現大量金屬元素鈉和鋁約5~20ppb，且
鉀、鈣和鋅約1~15ppb，依照生產批號比對，批號第三碼依英
文字母代表為月份，於1、2和3月生產批號相較5和7月生產批
號的金屬殘留量少，如 圖23結果與供應商提供COA資料比對
有正相關，顯示不同月份生產濾膜和濾心清洗流程中，有殘
餘未完全洗淨之金屬殘留。
4.2 HF1%供應系統使用HAPAS、PTFE和PS濾心洗淨後金
屬殘留分析
比較同2nm孔徑HAPAS(Pall®)與PTFE(Entegris®)濾心，
安裝於HF1% CMDU(Chemical Mixing Dispense Unit)單通道
並聯3支20吋濾心，實驗結果，如 圖24；當日更換後執行正
洗360L和逆洗180L新酸置換量後，2nm HAPAS濾心的鉀、
鈉、鎂、鋁、鉻、鐵、鎳等金屬元素皆大於供應使用規範
100~200倍，需經4天的4倍洗淨和浸泡量後，才得以降低至
約5~10%殘留量，觀察約5~10日洗淨後，鐵、鉻、鎳等過渡
金屬元素以降至規範內，而鉀、鈉、鎂、鋁的鹼金和鹼土元
素仍持續達20~100ppt範圍內析出殘留。說明低濃度氫氟酸，