Page 11 - Vol.44

圖21、活體移植流程示意

圖22、3nm UPE不同生產批號包裝水之金屬殘留比較

特性不易解離成氟離子與金屬元素反應析出外，即便高流通
量的HAPAS也不易透過沖出方式，將膜內金屬殘留排至濾
心外，僅能由置換新酸後，由浸泡擴散析出殘留金屬，洗至
17日後，仍有鉀、鈉、鎂、鋁金屬殘留約莫100ppt。而同級
2nm PTFE濾心，洗淨5日後，即可洗淨至上線規範內。當日
洗淨前取樣，兩者總金屬殘留差異約100倍，推斷HAPAS濾心
的原廠金屬殘留量較PTFE高。 圖23、Entegris ® 3nm UPE不同生產批號之金屬殘留分析

FACILITY JOURNAL 12 2021 9