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VOL.49 廠務季刊 氣體 VMP & 鋼瓶鎖固條件優化管理

研究方法

3.1 微物分析平台建立

廠務實驗室目前已在微物分析上建立多種設備與方
法，可藉由結合不同類型儀器深入地做多面向探討，
並即時提供完善客觀的資訊，釐清問題發生原因。相
關機台資訊彙整如圖6 所示。

3.2 3D 輪廓重建技術建立

影像重建原理是將光源經透鏡聚焦到於觀測物體上，如果
物體在焦點面上，那麼其反射回來的光將會再經由透鏡聚
回。重建需要快速且大量擷取畫面中所有像素數據，透過
各層的圖像逐點收集與計算，最後才能建構成完整 3D 立
體影像，其顯微鏡原理與共焦面重建示意圖如圖7 所示。

3.3 Gasket 量化方法

將待測物 (Gasket) 於上下左右四處重建出壓槽的整體輪
廓，先找出兩側兩兩切線交點，定義出內側與外側的端點
位置，兩端點的連線與壓槽波谷的距離，在此定義作為墊
片壓槽深度。為了驗證取樣代表性，實驗連續執行 5 天不
同位置的重建與量化測試，結果顯示整體深度跳動幅度小，
壓槽平均深度：43.2um；標準差：0.6um，其方法穩定度
RSD：1.5，意味著固定樣品與手法下，並不會明顯受取樣 圖 7：3D 顯微鏡原理與共焦面重建示意圖 [07]
位置影響，因此後續 Gasket 試驗以此方式執行 ( 圖8)。

圖 6：廠務實驗室微物分析 (Micro analysis) 機台

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