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TSMC/ Facility Published
圖 8：Gasket 量化 : 透過觀察、量測與分析，驗證方法的穩定性
結果與分析 - 案例分享
4.1 和淞科技案例 實驗結果顯示 :
廠區特氣分流閥箱 / 盤 ( 圖9)(VMB/P GMS Alarm) 從廠驗結果發現現場人員盤面組裝方式是以固定板手
事件，經後續實驗分析初步評斷為 Gasket 刮痕與壓 作為施力支撐點，接著以定磅數扭力板手 (275kgf-cm)
痕深度不足所導致。為了掌控廠商組裝品質，後續安 執行閥件鎖固。但因作業人員礙於盤面空間限制，實
排至和淞科技實地廠驗，並現場觀察人員組裝情形。 際扭力板手會傾斜不同角度做鎖固 ( 圖 10)，此舉也將
藉由隨機抽樣與實驗測試，建立 VMB 組裝的相關 導致不同扭矩發生，造成鎖固品質不均。
baseline，以作為日後品質管理或異常判斷的依據。
後續建議人員將 VMB 盤面轉向，讓扭力板手能正確
施力於閥件上，避免傾轉角度所造成的假扭矩。實驗
測試兩種不同盤面 A1 Type 與 C1 Type( 圖 11)，結果
顯示兩種盤面都經轉向鎖固後，Gasket 壓痕深度範圍
A1：type 將由原本 33um( 離散 )，縮小至 22um，平
均深度也由原本 60.9um 提升至 75.2um；C1：type
將由原本 70.2um( 離散 )，縮小至 53.9um，平均深度
也由原本 55.7um 提升至 70.8um。這將意味著盤面轉
向可供板手正確施力，穩定施加扭矩。後續廠商已經
更改組裝 SOP 文件，並納入 third party 廠驗時抽查
項目。
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