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TSMC/ Facility Published

4.2 高壓氫鎖固案例 實驗結果顯示 :

目前廠區所使用的鋼瓶墊片，以美規 (Diss) 佔最大 因高壓氫氣屬日規接頭，經由現場實地鎖固測試，發
宗 ，其次為日規 (JIS)，兩者最明顯差異源自閥件主 現目前 POR 鎖固條件，扭力板手 (35Ft_IB- 喀三聲 )
體設計不同，導致鎖固 Gasket 所產生的壓痕結構相 並無法明確產生壓痕結構。原因可能源自於閥件主體
反。如圖 12 所示。目前針對美規接頭，美國氣體壓 設計，鋼瓶與 Pigtail 的接觸面需要更高的平整性，
縮協會 (CGA) 皆有明確規範定義產品規格與鎖固磅 若施力不足將無法對 Gasket 擠壓出結構。因此為了
數( 圖 13)，然而日規接頭在鎖固磅數並無明確規範。 找出適合的扳手鎖固磅數，實驗初步設計四種磅數
(35；45；55；65 Ft_IB) 做墊片壓痕評估 ( 圖 14)，
結果顯示隨著鎖固磅數提高，壓痕也漸漸隨之提高，
這意味著提高磅數可有效提升墊片擠壓出結構，增加
墊片密合度。

圖 12：美規與日規接頭設計差異

圖 13：氣體墊片與鎖固磅數彙整表

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