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VOL.49 廠務季刊       氣體 VMP & 鋼瓶鎖固條件優化管理



































              圖 9:特氣分流閥箱 / 盤 (VALVE MANIFOLD BOX /PANEL, VMB/VMP) 為一個將特殊氣體分配盤安裝於箱體內的設計,主要用途
                                                                                                 [08]
              為連接來自氣瓶櫃或大流量特氣分流箱的管路,調整壓力及流量後,分流出去給設備使用。具有抽氣、氮氣沖吹及排氣等安全功能。







                              正扭矩                              假扭矩
















              圖 10:假扭矩示意圖

















              圖 11:特氣分流閥盤鎖固與墊片壓槽深度量化結果





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