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VOL.51 廠務季刊 南京廠含砷廢氣的監管技術的發展與研究
結論 作者介紹
本文借助傅立葉紅外監測儀 (FTIR) 於 Local 張波 B. Zhang
Scrubber 進出口進行濃度量測，統計排放總量並監
2018 年華北電力大學畢業，畢業後加
測處理設備實際處理能力，同時計畫將 IMP 區排氣 入臺積電 ( 南京 ) 廠務大家庭，投身於
風管專管專收，並設置標準監測口進行定期量測， AAS 系統的學習和研究，感謝這三年來
以做到含砷廢氣排放有效監管。檢測時間有縮短 主管和同事們的幫助，讓我成長了很多，
期待未來能為團隊貢獻更多的能量。
82%(28Hr/ 次→ 5Hr/ 次 )，提升檢測效率及異常狀
況溯源反應速度。
隨著法規要求的日趨嚴格，劇毒性氣體的收集及監管
方式將趨於在源頭進行監控，本文確定含砷廢氣收集
及檢測方案，為磷烷、矽烷等特氣的研究提供參考，
後續將借助 FTIR 量測其他特氣的處理效果。
參考文獻
01. 邱裕閔，半導體產業的砷氣危害與防制，經濟部產
基會。
02. 關於發佈《半導體行業污染物排放標準》(DB32-
3747-2020) 的公告，江蘇省市場監督管理局，
2020。
03. 環境保護部．HJ540-2016 固定污染源廢氣砷的測定
二乙基二硫代氨基甲酸銀分光光度法，2016。
04. 朱 蕾，蘇 豔 . 傅立葉紅外光譜分析在環境試驗中
的應用 [J]. 環境技術，2002。
05. 郁建橋，張 璘，王 霞 .FTIR 光譜法在氣態環境污
染事故應急監測中的應用 [J]. 分析儀器，2005。
06. Quliguo,The Application of Fourier
Infrared Portable Gas Analyzer in Emergency
Monitoring,2021.
07. Zillion Tek Co., Ltd CS250SC2 Training materia.
08. 陳新友，運用開放式霍氏紅外光遙測儀進行半導體
產業環境異味之調查，2006。
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