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VOL.51 廠務季刊 南京廠含砷廢氣的監管技術的發展與研究

表 5：LSC 量測結果

型號 phase TOOL ID 使用年限 ( 年 ) 建議使用年限 LSC sensor 出口測值 FTIR 測值 測值結果
AIHIT1 1.96 <30ppb <1ppb ND
AIMIS1 0.25 <30ppb <1ppb ND
AIMIV1 0.25 <30ppb <1ppb ND
AIHIT3 1.91 <30ppb <1ppb ND
AIMIS2 0.24 <30ppb <1ppb ND
AIMIV2 0.26 <30ppb <1ppb ND
AIHEA1 0.26 <30ppb <1ppb ND
AIHIT4 2.10 <30ppb <1ppb ND
AIMIS3 1.23 <30ppb <1ppb ND
AIHIT7 1.42 <30ppb <1ppb ND
CS250 F16P1A AIHIT8 1.44 <2.5 年 <30ppb <1ppb ND
AIHIT9 0.22 <30ppb <1ppb ND
AIHIT2 1.94 <30ppb <1ppb ND
AIHIT5 1.98 <30ppb <1ppb ND
AIHIV2 1.50 <30ppb <1ppb ND
AIHIV1 1.45 <30ppb <1ppb ND
AIHIT6 1.39 <30ppb <1ppb ND
AIHES1 2.12 <30ppb <1ppb ND
AIMIVC 1.00 <30ppb <1ppb ND
AIHITA 0.94 <30ppb <1ppb ND

4.3 量測模型改善

量測過程中發現 1A 現有 20 臺 Local Scrubber 處理 對於 1B 的風管連接的改進，我們不僅可以滿足環保
含砷烷製程廢氣，若想源頭監測，需全部機臺進行采 局要求進行廢氣排放的監測，又可以使我們在廠區內
樣分析，這樣便導致工作週期長，不利於有效監測出 做到對砷烷有效的內部監管。
實時水準。

因此在 1A 風管連接的基礎上，我們對 1B 的風管連接
方式進行了改進，如圖8 所示量測模型：將處理過含
砷廢氣的所有 Local Scrubber 統一連接入同一個水準
管，同時在這支水準管上開取一個合適的采樣口，以
此便形成對含砷廢氣的專管專收，既方便采樣操作，
又利於定期量測安排，風管實測結果如表6。

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