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TSMC/ Facility Published
圖 8：量測模型改善
表 6：風管量測結果
製程區域 Submain 風管編號 量測值
離子植入區 / 蝕刻區 FSED-L20-6B04 ND
離子植入區 FSED-L20-6B05 ND
離子植入區 FSED-L20-6B06 ND
離子植入區 FSED-LB15-6B01 ND
離子植入區 FSED-LB15-6B01 ND
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