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VOL.51 廠務季刊 南京廠含砷廢氣的監管技術的發展與研究

結果分析

采樣模擬：與機臺連接之 Local Scrubber(CS250SC2) 4.1 準確性測試
的管路進行采樣連接， FTIR 設定採集流量 10L/min;
儀器圖譜建立，選擇內置 AsH 3 圖譜，模式選擇為自 可攜式傅立葉紅外分析儀開機預熱 30min，等待光
動定性，即可實現自動識別其他組分，待儀器正常讀 譜儀自檢且儀器運行穩定後，通入 N2 進行吹掃，將
值後，即模擬采樣驗證成功，後續可選擇與正常開機 採集到的 N2 光譜作為背景並保存；然後用多路氣體
機臺連接之 Local Scrubber 進行管路連接，進行實 校準儀將 AsH 3 標 氣 分 別 稀 釋 為 50ppb、30ppb、
際采樣分析監測。現場儀器搭設如圖6 所示： 20ppb、10ppb，分別通入分析儀中連續採集光譜，
待數值穩定後讀取 AsH 3 的示值，然後再次通入 N2
回零，進行下一次測量。按上述全程式對每個濃度樣
品平行測定 6 次，按上述全程式對每個濃度樣品平行
測定 6 次，分別計算不同樣品的平均值、標準差、
相對標準差等參數，結果如表3，50ppb、30ppb、
20ppb、10ppb 4 個不同濃度 AsH 3 的相對標準差分
別為 0.59%、0.25%、0.10%、0.16%，滿足準確性
要求 ( 相對標準差＜ 10%)。

4.2 LSC 實際 DRE 效果

LSC 出入口分別聯結 FTIR 進氣採樣管，量測實際運
行狀況下 LSC 去除效率 ( 圖7)，實測 DRE 結果如表4
所示。

廠內既有的 LSC 吸附桶更換週期均小於 2.5 年，符合
圖 6：現場儀器搭設 O.I. 《TSMC FAC ADSORPTION LOCAL SCRUBBER
P.M. O.I. 》定義要求，廠內運轉狀態良好，測值均低
於檢出限 ( 表5)。

表 3：檢測方法比較

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