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VOL.51 廠務季刊 LSC DRE 檢測手法標準化及電漿式 LSC De-N 2 O 和 NOx 之策略
4.2 CH De-NOx 廠內測試結果及標準檢測手法應用
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廠內測試於 F12P6 JCSMA3 裝機進行，LSC 入口採並
聯量測並以 NF 3 特氣建立入出口風量檢量線。在進行
DRE 測試前，以不同濃度之 NF 3 氣體搭配 FITR 建立
風量與 NF 3 濃度之關係，其結果為入口 132 SLM 出口
287 SLM，稀釋倍率 (Dilution Raito) 約為 2 倍，如
圖5 所示，而各組測試的條件則如圖5 所示。後續在
進行 DRE 量測時將以此風量進行質量效率計算，並隨
機於測試後通入 NF 3 氣體查核出口風量之變化 ( 圖6)。
純氣測試及 run 貨條時 N 2 O 的 DRE 及副產物濃度分
別如圖7 及圖8 所示，N 2 O 氣體流量為 45,000 sccm
( 設備端 MFC 最大量 )。在無 CH 4 的幫助下，當電流
為 48~57A 時，其 DRE 分別為 90.2~91.7%(#5~#7)，
依規範 N 2 O 之 DRE 需 大 於 90%， 因 此 將 48A/167V
訂 定 為 該 plasma-wet LSC 之 操 作 參 數。 在 加 入
圖 5：DRE 測試時 LSC 之操作參數
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10lpm 的 CH 4 後，48A 時 機 台 對 N 2 O的DRE則 上
升 到 >99.9%，CH 4 下 調 至 5lpm 後 N 2 O的DRE仍
>99.9%，由此可知，在 CH 4 的幫助下的確可以有效的
提高 N 2 O 的去除效率。然而，除了 N 2 O 的 DRE 外，其
副產物的濃度也是另一個關注的議題。圖 8 顯示了在
不同測試條件下 LSC 出口的副產物濃度。在 NOx 部分，
可以看到當無 CH 4 參與反應且 plasma 電流為 48A 時，
NOx 的濃度為 930ppm(#5)，而在分別加入 10lpm(#9)
及 5lpm 的 CH 4 (#13) 後，其 NOx 濃度分別降低至 457
及 783ppm，De-NOx 效率分別為 51% 及 16%，說明
了 CH 4 的加入可以有效去除副產物 NOx。然而根據測
試結果，當 CH 4 為10lpm時會有CO的產生( 圖8)。
為避免此問題，在後續 recipe run 的條件下時將選用
5lpm 的 CH 4 作為還原劑來 De-NOx。