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TSMC/ Facility Published

結論 作者介紹

本研究首先針對過去 LSC DRE 量測時的缺陷進行改善， 田麒鈺 Chi-Yu Tien
並與工研院及 NFDD 合作訂定標準手法。另外也率先
畢 業 於 交 大，2021 加 入 TSMC 大 家
導入 CH 4 de-NOx 技術於 plasma-wet type LSC，並成 庭，我一直都以空污靜零排放之目標而
功的將 NOx 濃度降低至公司內控標準內。同時該技術 努力，期許哪一天自己能研發一台 DRE
也於 F15A 測試，導入電熱式 LSC。從法規面來看，雖 100% 的處理設備。
然 NOx 在台灣目前尚未進行總量管制，但在歐美、韓
國等海外地區皆以進行總量管制，此外這也會是未來 簡仲廷 Jhong-Ting Jian
新建廠的環評重要項目之一。從測試結果來看，該技 畢業於台北科技大學能源與冷凍空調工
術能夠有效的 de-NOx 並進一步提高 N 2 O 的 DRE，換 程系，於 2019 年開始負責 LSC 系統，
句話說，在 CH 4 的幫助下若將操作電流由 48A 降低至 感恩各位前輩們的協助，也慶幸能在 P6
RD 廠區才有很多測試的機會。
40A，仍可達到 >99.9% 之 DRE，亦可達到 LSC 本身
節能之功能。未來本團隊將持具精進 De-NOx 技術之
評估與測試，以期未來當法規加嚴時仍有相對應的策
略，並持續對空污進行減量，為公司 ESG 盡一份力。

參考文獻

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