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TSMC/ Facility Published
圖 6：LSC 出口風量查核結果
在 recipe run 的 時，LSC 端 的 CH 4 MFC 與設備端地 在這樣的連棟及 CH 4 參與反應後，N 2 O的DRE可達
N 2 O MFC 進行連動，意即當 N 2 O MFC turn on 則 CH 4 93.7~98.4%，而出口 NOx 濃度則為 36~99ppm，代表
MFC turn on；而當 N 2 O MFC turn off 時 CH 4 MFC 則 了 CH 4 確實參與了反應。且 99ppm 的 NOx 出口濃度
會加入延遲時間才進行關閉，這主要是因為從設備端 約為 2/3 倍的公四內部標準 (100ppm)。然而，在 CO
流下來的特氣到 LSC 端會有時間差的問題，若連動關 部分則是測到了 55.3ppm (> 公司 spec.)，這代表了
閉則有可能會導致 CH 4 不參與 De-NOx 或是 De-N 2 O CH 4 與 CDA 的流量仍有調整的空間以達到 NOx 及 CO
的反應。由測試結果 ( 圖7 及圖8 #14~#16) 可知， 等副產物皆符合公司標準，這也會是未來之研究方向。
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