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TSMC/ Facility Published

4.2 鹽酸永久對策 - 強化微粒捕捉能力

臺禹廠商將原本水箱上的灑水頭更換為兩段式文式 改善後經工研院粒徑採樣分析，IPI-SGA-310B+ 微粒
管，使微粒經過文式管後增大，直接捕捉至水箱內。 排放量由 99.6mg/min 下降至 14.0mg/min，去除效
測試結果微粒去除效率僅 67% 未達 80% 要求，且 率改善 86% ( 圖 14 ⒜ )。同時進行無機酸採樣分析，
切機保養時入口壓力超過限值，造成機台跳機，無法 鹽酸去除效率改善 87% ( 圖 14 ⒝ )。
符合運轉需求。經確認，機台跳機為文氏管縮口設計
造成，但漸縮管路設計為文氏管去除機制原理無法變
更，因此請臺禹重新進行 PDCA 改善鹽酸。
⒜ 粒徑分析
參考二流體成功案例，將既有灑水頭更換為二流體，
水箱上新增四組，原水洗段新增一組並改為向上噴灑，
使小微粒吸細水霧後成長為大微粒，大微粒再經由臺
禹既有的旋風集塵器將微粒離心至管壁去除。( 圖 13)

⒝ 鹽酸濃度

圖 14：臺禹二流體改善前後比較圖

圖 13：IPI 改善前後 MOUDI 粒徑分析比較圖

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