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VOL.51 廠務季刊 固態汙染物_去除效率精進改善

結果與分析

4.1 氫氟酸永久對策 - 強化微粒捕捉能力

康肯廠商將原本的灑水頭更換為兩組二流體噴頭 ( 如 經工研院粒徑採樣分析，KT1000FA 微粒排放量由
圖 11)，並將灑水方向改為朝下有助於固液接觸，使 18.0mg/min 下 降 至 1.1mg/min， 去 除 效 率 改 善
微粒成長效果更好。再將一個二流體噴頭斜放噴灑濾 94%( 圖 12 ⒜ )。同時進行無機酸採樣分析，鹽酸去
網，維持濾網潔淨度，降低系統壓損，維持機台正常 除效率改善 86%( 圖 12 ⒝ )。
運作。另外，新增的濕式離心器，透過離心力將微粒
捕捉至濾網。

⒜ 粒徑分析

⒝ 氫氟酸濃度

圖 12：KT1000FA 改善前後比較圖

圖 11：KT1000FA 機台改造後

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