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VOL.51 廠務季刊 固態汙染物_去除效率精進改善

結論

透過主風管氣體監測器或無機酸量測結果確認改善前
後的去除效率，氫氟酸主風管改善效率 89 ‒ 92% 可
長期維持 132 天以上，氟氣監測值穩定降至 warning
值以下約 0 - 200 ppb；鹽酸主風管改善效率 95 ‒
98% 可長期維持 70 天以上，LSC 改善效率 83 ‒ 89%
可長期維持 57 天以上。

參考文獻

01. 110 年空氣品質監測年報─環境保護署。

02. 行政院環境保護署環境保護人員訓練所，「空氣污
染防制專責人員訓練教材」。
03. Handbook for Dust Control in Mining
(2019,2003) p.143.

作者介紹

吳俊賢 C.H. Wu

期許自己能像海綿一樣，不斷吸收新知
識與新技術，為淨零排放盡一份綿薄之
力。
劉冠宏 Kuan-Hung Liu

國立台灣大學環境工程學研究所畢業。
擁有環境工程技師證照及 ISO14001 主
任稽核員證照。2018 年加入台積電，
持續與機械課主管及同仁跨部門合作學
習，共同致力於空污零排放。

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