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TSMC/ Facility Published

3.4 二流體噴頭

氣流及水流併稱為二流體 ( 如圖 9 所示 )，氣體高壓噴射
將水打散成微米級水霧，將固態微粒吸附水霧後轉變為
大顆粒，再利用二流體高比表面積特性將固態微粒捕捉
去除。

美國疾病管制與預防中心 [03] (Centers for Disease
Control and Prevention, CDC) 指 出， 水 壓 越 高 除
塵效果越好，或單位水量下產生越多水滴其除塵效
果也越好，另比較四種灑水頭 ( 如圖 10)，其中以
圖 9：二流體噴頭
Atomizing Nozzle 也就是二流體噴頭效果最好。

[03]
圖 10：噴頭除塵效果比較

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