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VOL.51 廠務季刊 固態汙染物_去除效率精進改善

⒜ ⒝

圖 6：文氏管核凝成長去除機制圖 (a)，與氣體流向圖 (b)

3.3 濕式旋風集塵器

將細水霧灑水頭應用於 LSC 加強微粒捕捉小微粒吸水霧
後，使其成長為 > 1um 以上的大微粒 ( 圖7)，大微粒再
透過新增的濕式離心器將微粒離心至濾網上去除，濾網
也透過灑水避免阻塞從側視圖觀察，大微粒從底部進入
後，由離心器離心至濾網上，再經由灑水將其清除至水
箱 ( 如圖8 所示 )。

圖 8：濕式離心器

圖 7：二流體噴頭

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