Page 74 - Vol_51

VOL.51 廠務季刊 循環經濟_硫酸銨乾燥系統設立與空汙防治技術

圖 2：硫酸銨乾燥系統流程

3.2 污染物來源分析

半導體製造業使用各種化學原物料，經由製程所產生 根據勒沙特列原理可知，當 PH 值降低，水中的氫氧
的空氣污染物可概分為四類 [06] ，分別為：酸鹼廢氣、 基濃度下降，式⑵的反應式就越不容易朝右側進行，
有機溶劑廢氣、毒性氣體及燃燒性氣體，如表1 所示， 氨氣分子析出濃度將會減少。針對硫酸銨乾燥系統的
而硫酸銨乾燥系統作為硫酸銨水溶液進行除水，固化 配置使用削減鹼性氣體洗滌塔，並添加硫酸作為 PH
作用的系統，代表污染物來源可針對為硫酸銨解離後 值的控制。
的化合物。

硫 酸 銨(Ammonium sulfate) 又 名 硫 銨， 化 學 式 為 3.3 風管流場影響
(NH 4 ) 2 SO 4 ，是一種優良的氮肥(俗稱肥田粉)原料，純
在乾燥床(流化床)中，少量的粉塵狀硫酸銨顆粒會受排
品為無色斜方晶體，工業品為白色至淡黃色結晶體。
氣風流的捲揚，進入串聯式空污防制設備如現址式洗
硫銨易溶於水，溶於水的解離式為式⑴ : 滌塔，中央濕式洗滌塔進行廢氣處理 [04] ，最終排放至
大氣的污染控制，含硫酸銨粉塵的氣流進入現址式洗
式⑴ 滌塔處理前，會因為現場的風管配置，經過彎頭與風
門等可能造成風場擾流的構造 [07] ，如圖3，汶流中的
+
其中，離子 NH 4 於水中的離子態為式⑵ : 結晶粒子因位於彎管等部件處循環，導致黏附結晶，
進而導致排氣風量與負壓降低，提高 PM 保養頻率。
式⑵

��