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TSMC/ Facility Published

4.2 並聯系統影響分析

硫酸銨乾燥系統製程末端包含熱風乾燥系統，排氣需 台積首套硫酸銨乾燥系統，其空污處理最初規劃是將
求 26000CMH，若併入晶圓製程排氣約佔主風管總抽 其併入至既有的製程鹼性廢氣處理系統，F15P5 進
氣總量 10%( 以 F15A 為例 )，因此乾燥設備風壓變 行 ASC 系統併入製程用鹼性排氣系統作業，其中製程
化將連動主風管抽氣效能壓力，故於乾燥設備運轉前 用風機單台運轉風量為 120000CMH，共 3 台風機運
需限縮閥門，並與機械課搭配控制主風管閥門開度， 轉約 39Hz，製程排氣總風量約 21 萬 CMM，ASC 系
方可進行乾燥系統乾燥設備起啟機 ; 熱風吸入端來源 統加上其環排需求風量約 2.6 萬，相當於製程排氣的
為隔間外側大氣環境空氣，長時間運轉後吸入端濾網 12%，ASC 系統試併入時全體 Hz 數由 39.5Hz 上升
通量逐步下降，使熱風乾燥床物料無法有效達成流體 至 41Hz( 圖8)，換言之，當 ASC 系統發生異常跳脫時，
化，因此濾網清洗亦須納入保養排程，共同排氣合併 其風機的晃動會使製程主系統負壓至少 5% 的擺盪。
會由於乾燥系統排氣端與無塵室風管為共管設計，因
此濾網清洗作業需搭配風車起停機，亦須協同風車頻
率調整以及於各樓層限縮風管閥門作業，因此故保養
作業將耗費較多人力與時間，操作風險亦相對提高 ,
若採用獨立風管設計，可有效避免系統異常影響無塵
室生產，亦有利於日常維護保養操作彈性。

乾燥系統後端洗滌塔出口設置兩風車作為 N+1 備援，
出口引風機 VFD 追載風管 PT 壓力作為壓力穩定設
計，如兩台風車均發生亦常故障，將連鎖前端鼓風機
停機，並開啟自動大氣比例閥 (Bypass damper)，
以此比例閥持續追朔風管壓力，避免影響主風管壓力
圖 8：共管系統之 MVR 啟動對製程排氣系統影響
( 圖7)。

圖 7：風壓穩定系統設計

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