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VOL.52 廠務季刊 新世代的廢硫酸回收處理系統開發

結論

4.3 實廠設備規劃 透過實驗室及模廠兩種不同等級之測試，驗證，硝酸
法可透過適量的硝酸添加量以及溫度控制等操作手
完成硝酸法之可行性驗證後，我們也同時著手硬體系 法，確實可把廢硫酸中雙氧水完全去除，且無殘留物
統之設計。硝酸法與鹽酸法比較，相對高溫且耗能， 之存在。其中溫度之控制更是為關鍵因子，不僅可減
因此我們評估導入兩個全新設備： 少藥劑添加量、縮短反應時間，並降低硝酸之殘留量。
與既有鹽酸法做一比較，硝酸法藥劑添加量少，並且
❶耐高溫之搪玻璃反應器：因硝酸法初始溫度
不純物之殘留值也可降至最低
約>90℃，添加硝酸反應後之溫度隨之提高
15~20℃，已超過既有PFA Ling Tank之適用範圍 目前 FRC Committee 已決議改造中科 F15P5 廠區之
(<90℃)，因此評估導入耐高溫之搪玻璃反應器(可 既有廢硫酸處理系統 (WSR) 以進行驗證，未來有機會
耐溫至200℃)。搪玻璃反應器製作工藝不同於 PFA 納入於新廠設計以取代既有鹽酸法，成為新世代的廢
Lining Tank 是將膠水貼附方式，而是以除耐高溫、 硫酸回收處理系統 (WSR2.0)。
耐腐蝕等優點外，其內建攪拌器之設計，與既有
Pump 循環方式相較，混和效果更佳，提高反應速
率。圖8 為搪玻璃反應器之特點說明。

❷熱回收設備：導入耐高溫、耐腐蝕以及高熱傳導率
的碳化矽熱交換器，將硫酸成品之餘熱來預熱下一
批之待處理廢硫酸，以減少能耗。

圖 8：搪玻璃反應器之特點說明

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