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VOL.52 廠務季刊 地下氫氣應用於半導體產業之挑戰

結論 參考文獻

近年來半導體製程發展迅速，氫氣地下環管的應用在 01. The American Society of Mechanical
安全方面不僅可以減少氣體槽車運輸、更換之風險， Engineers, Managing System Integrity of Gas
在品質方面也降低氣體槽車更換造成的污染，在系統 Pipelines, ASME B31.8S(2018).
運轉方面人力負擔減少是可預期的。氣體槽車更換與
02. W.Kent Muhlbauer, Risk Management Manual(3rd
地下環管直供兩者利弊考量下取其輕，地下環管對於
ed,2003).
半導體工廠的應用上顯然利大於弊，在考慮高雄氣爆
案例檢討下，設計上除了參照國外規範及中油的設計 03. NACE International TM0497-2002, Measurement
以外，並委託第三方社團法人中華產業機械設備協會 Techniques Related to Criteria for Cathodic
提供客觀完整管理評估報告，在考慮應變時設計源頭 Protection on Underground or Submerged
端及使用端設置緊急關斷閥也能夠避免異常危害擴 Metallic Piping Systems.
大，縮短其緊急應變時間，在供應商、廠務處、風險
04. A.W.Peabody, Peabody�s Control of Pipeline
管理處三方反覆審查下將風險降至最低。 Corrosion, 2nd Ed.(2001)Generalic, Eni.
�Solubility product constants.� EniG.
台積電 F18A 廠氫氣供應已在 2021 全面改為地下環
Periodic Table of the Elements. KTF-Split,
管供應模式，既有槽車供應系統亦保留當作供應第二
29 June 2022.Web.22 Sep.2022.
備源確保廠區運轉順利。減少氣體槽車的更換次數等
同減少柴油耗量，連同槽車管路沖吹量及氣體壓縮機 05. 台灣中油公司，管線工程陰極防蝕施工規範，民國
用電量來計算，換算下來的年碳排放量減少約 300 公 97年3月。
噸，在企業永續經營架構下品質優化、兼顧安全及企 06. 台灣中油公司，地下管線防蝕包覆施工規範，民國
業 ESG 提升共好共享，相信地下環管氣體直供將是半 97年3月。
導體產業未來趨勢。

作者介紹

謝宗成 T.C. Hsieh
在南科廠務負責氣體供應系統，在系統
穩定供應與運轉經驗的傳承，未來希望
能持續創新改善系統穩定度，感謝廠務
及前輩提攜。

游昇哲 S.C. Yu
在南科廠務主要負責氣體供應系統，在
系統穩定供應與運轉經驗的傳承，希望
未來能夠在系統上精進，化繁為簡，效
率提升，能持續創新改善系統穩定度，
謝謝南科廠務及前輩們的照顧。

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