Page 191 - 52
P. 191
VOL.52 廠務季刊 地下氫氣應用於半導體產業之挑戰
實驗方法 結果與分析
3.1 地下環管路品質驗證 4.1 正逆吹去除管路不純物效果
環管配置採用 ASTM A312 SUS316L.SCH20 管厚 4mm 使用氬氣自氣體廠大量正向沖吹至台積電廠區以及使用
無縫鋼管對接焊工法，焊道進行 100% FULL RT 射線 氫氣槽車逆向沖吹至氣體廠的結果，對照氣體廠不純物
檢測 (Radiographic Testing)，地下管線無穿越箱涵並 分析數值 ( 圖7) 並取樣分析 GC-MS/ICP-MS( 表2)確
經 1.5 倍以上操作壓力洩漏測試合格，地下管線埋管深 保地下管氫氣品質已符合工廠製程標準，再將地下管氫
度 0.6~1.2 公尺參考國際規範 ASME B31.8S-2018 將內 氣導入台積電廠內做線上關鍵製程機台的品質驗證。
部腐蝕、外部腐蝕、應力腐蝕開裂、製造相關缺陷、焊
接相關缺陷、設備失誤、第三方 / 機械破壞、人為操作
4.2 單一 Fab 關鍵製程評估供應測試
錯誤及氣候相關或外力損害等因素進行危害辨識。
完成地下管氫氣符合工廠製程標準後，與工廠合作進行
單一 Fab 評估供應測試，模擬氫氣地下環管上線經機
3.2 地下環管供氣品質驗證
台 Burn In 選定特定關鍵製程確認結果，此方法可降低
本次氫氣地下環管利用正逆沖吹管路方法 ( 圖6) 來消 品質異常風險影響範圍，在完成評估測試後亦可加快機
弭藏匿於管路死角的不純物，考量到氮氣充吹殘留會 台復線不致影響產能。
讓下游氫氣純化器 getter 飽和穿透，選擇使用惰性氣
體氬氣自氣體廠大量正向吹至台積電廠區去除管路不
純物，同步架設水份、氧氣、粒徑分析儀確認管線潔
淨度，後續由台積電廠區氫氣槽車逆向吹至氣體廠進
行氬氣的置換。
圖 7：地下環管 GC 檢測
���
