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TSMC/ Facility Published

2.3 高雄氣爆緊急關斷設計

參照高雄氣爆事件檢討報告，為了避免洩漏或品質等因 該路徑緊急關斷閥避免影響下游端；並在每個 FAB 入口
素造成工廠端危害擴大，社團法人中華產業機械設備協 處均設置獨立緊急關斷閥，當有單一 FAB 發生異常須停
會與台積電風險管理處共同提出相關風險削減措施，其 止異常 FAB 供應，可保持其餘正常的 FAB 正常運轉。除
中一項緊急供應遮斷設計。氫氣地下環管在氣體廠及台 此之外，本次設計考量到當廠外氫氣地下環管洩漏時，
積電 F18 廠均裝設緊急關斷閥 ( 圖6) 減少危害，主要關 避免有更多的氫氣從下游端逆流至洩漏口，因此在台積
斷機制為供氣品質超標、過流量、低壓、地震 ( 表1)。 電 F18 廠地下管總入口處設置緊急關斷閥，可以同時關
當氣體廠的製程端發生供氣品質異常超標，將自動關閉 斷氫氣地下環管的上、下游，將危害控制至最小範圍。

圖 6：台積電氫氣地下環管流程圖

表 1：緊急關斷閥安全邏輯
Over flow & 控制室
關斷邏輯 Impurity HiHi 地震儀 Over flow 現場EMO
Low pressure
遠端關斷
ESOV a v v v
ESOV b v - - - v v
ESOV c - - v v v v
ESOV d - - v v v v

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