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TSMC/ Facility Published
前言 文獻探討
近年來半導體的蓬勃發展製程演進，伴隨著是工廠氣 2.1 中油管路防蝕設計
體用量越趨升高，為滿足產能用量氣體槽車更換次數
已超過負荷量，頻繁更換氣體槽車作業會使閥件的壽 有鑑於高雄氣爆事件主因為管路腐蝕造成氣體外洩，
命縮短、並增加氣體污染以及氣體外洩風險，間接影 地下管路腐蝕最常見的原因來自於地下管和土壤之間
響工廠產能、安全及品質。為了提升 Fab 工廠氫氣供 電位差，因此在氫氣地下環管防蝕設計是採用中油管
應穩定度，參考中油地下管防蝕規範，率先導入台積 線工程陰極防蝕及中油地下管線防蝕包覆施工規範，
電首次氫氣地下管直供環路，期間兼顧供應氫氣不純 採用聚乙烯披覆鋼管、CGA-4.5.4.1 陰極防蝕―犧牲
物濃度標準，並與工廠共同合作，制定少量評估至關 陽極法 ( 圖1) 以及中油天然氣規範 CS-102-0001-1
鍵製程機台使用辦法，建立地下環管氫氣品質管理。 鋼管 PE 包覆修補 ( 圖2)，消除地下管和土壤之間的
有鑑於高雄地下管路腐蝕造成氣體外洩之事件，為了 電位差效應，加強地下環管之防蝕效果，避免因腐蝕
提升氫氣地下環管的安全管理，與供應商合作委託社 造成氣體外洩。
團法人中華產業機械設備協會進行氫氣地下環管完整
性管理評估，主要針對氫氣地下環管進行風險評估，
並與台積電風險管理處依據結果提出風險削減相關措
施。另外氫氣地下環管抗蝕設計也參照中油施工規範
防蝕塗覆及陰極防護 - 犧牲陽極法來增加其抗蝕能力，
防挖斷設計在地下環管上方除了放置警示作用的警示
帶以外，再加裝檢知帶，若有施工誤觸時則立即警報
連動至氣體廠，再透過雲端平台將氣體廠地下環管警
報訊號傳回台積電值班中控室，如此值班人員可在第
一時間做出應變，將損害控制到最低。
氫氣地下環管之應用除了上述內容提到的穩定、安 圖 1：陰極防蝕—犧牲陽極法
全及品質優點以外，以交通安全的角度減少工廠氣
體槽車更換次數的同時，相對地也減少了氣體槽車
在道路上對交通安全造成的衝擊；在企業永續經營
的角度，減少氣體槽車的更換次數等同於減少槽車
運輸的柴油消耗量，換算下來的年碳排放量減少約
300 公噸，可讓台積電在產業衝刺之餘兼顧節能減
碳善盡社會責任。
圖 2：管路防蝕帶包覆
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