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TSMC/ Facility Published
實驗方法
根據前述文獻探討結果廠內最終選擇使用離子交換法 3.2 電鍍鈷資源化系統流程
來處理低濃度鈷廢水，高濃度鈷廢水則搭配已有建置
經驗及具資源化效益的電鍍法作為處理方式。以下便 電鍍鈷正式化系統流程如圖5，系統設計收集槽，收
是目前台積廠內針對含鈷廢水的主要運轉流程： 集製程排放的高濃度硫酸鈷廢液，以及鈷廢水系統樹
脂再生廢液，兩者主要成分皆為硫酸鈷，此外，由於
3.1 鈷廢水處理樹脂系統流程 收集後的廢液 pH 可能小於 2.5，故在進入循環電鍍
前，會經 pH 調整至 3~5。當收集槽收集足夠量廢液
鈷廢水處理系統流程如圖4，透過收集槽將各股含鈷 後，將廢液整批傳送至循環槽，透過循環泵輸送至電
廢水收集混合調勻，經 pH 調整槽控制 pH 為弱酸， 鍍模組進行循環電鍍。
其目的要避免水質偏鹼產生氫氧化鈷，影響樹脂去除
能力。當水質調整至弱酸後，會經活性碳塔進行前處
理，此處設置活性碳塔的主要目的有二：➀為去除來
自於 CoCMP 廢水的氧化性物質，因部分研磨液含雙
氧水，導致 CoCMP 廢水會造成樹脂氧化破碎等問題；
➁為攔截 CoCMP 機台研磨墊與 wafer 研磨後產生的
固體碎屑。
廢水經前處理後，即進入螯合樹脂塔吸附去除二價鈷
離子，樹脂塔是以兩塔串聯、一備用塔運轉的設計：
再生後的全新樹脂塔，投入運轉時作為串聯第二塔，
而原本的第二塔則變更為第一塔，此設計的最大目的
可讓第一塔吸附飽和，且當第一塔穿透後，仍有第二
塔進行防護，如此可提高再生廢液濃度，亦可強化螯
合樹脂除鈷能力。系統的最後，則仍設置拋棄式強陽
樹脂，用以吸附螯合樹脂無法有效去除的有機結合
圖 5：資源化電鍍鈷系統流程
鈷。藉由兩種不同類型樹脂串聯搭配處理，可有效去
除廢水中鈷離子。
圖 4：鈷廢水處理正式系統流程
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