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VOL.52 廠務季刊 先進製程含鈷廢水處理及其資源化再利用成果

結論 參考文獻

鈷廢水處理系統及資源化電鍍系統運轉及產出，展 01. Generalic, Eni. �Solubility product
示了我們具備將廢水鈷濃度做到放流水小於 2.3ppb constants.� EniG. Periodic Table of the
的能力。雖然資源化系統產出的鈷金屬銷售額不 Elements. KTF-Split, 29 June 2022.Web.22
高，但減少的廢液委外處理成本相當可觀 ( 約 7M/ Sep.2022.
month)。半導體廠廢水不僅量多，且所用的化學品
02. L.M.Alrehaily, J.M.Joseph, M.C. Biesinger,
更是多樣，其排放路徑不僅製程的直接排水，也包含
D.A.Guzonas, J.C.Wren“Gamma-radiolysis-
空污系統、晶片回收機台等排放路徑，在設計階段難
assisted cobalt oxide nanoparticle
免無法面面俱到，而對廢水處理而言，建廠初期好的
formation”Phys.Chem. Chem.Phys., 2013.
分流是贏在起跑點，在後續維護及操作上仍然需搭配
採樣檢測掌握鈷的足跡，隨時調整並發現問題找到最 03. E.M.Garcia, J.S.Santos, E.C.Pereira, M.B.
佳化操作模式。 J.G.Freitas“Electrodeposition of cobalt
from spent Li-ion battery cathodes by the
若以搖籃到搖籃的角度來看鈷處理系統，仍有不少議 electrochemistry quartz crystal microbalance
題有待找出更好的解決方法，例如 wafer recycle 產 technique”Journal of Power Sources 185
出的 W-M2 因含鈷而無廠商回收，也無法自行處理， (2008)549‒553.
導致鈷製程 wafer 需委外處理，成本較高；CoCMP
04. 蒙彥超，廢水外排不鈷息 : 先進製程廢水全鈷
製程排放有機結合鈷，仍只能透過強陽樹脂吸附飽和
回收，廠務季刊，Vol.31 期，台積電廠務處，
後汰換，增加廢棄物的產生同時處理成本也是一個問
2018。
題；鈷廢水處理系統，樹脂無直接的線上指標可判斷
是否飽和，僅能委外檢測等，這些都是未來系統持續 05. 謝文彬，先進半導體硫酸鈷廢水特性與處理技術
優化可改善的方向，使得鈷廢水處能夠更完善、可靠 探討，廠務季刊，Vol.36 期，台積電廠務處，
度更佳。 2020。

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