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VOL.52 廠務季刊 先進製程含鈷廢水處理及其資源化再利用成果

結果與分析

整體鈷系統運轉來源水主要分為高濃度鈷 (W-CoSO 4 ) CuCMP 系統透過添加螯合劑的方式進行混凝沉降，
進入電鍍鈷系統進行廢棄物資源化利用，低濃度鈷 將水中多餘的鈷進行處理，藉此讓放流水的鈷濃度能
(CoCMP/CoECP) 則進入鈷樹脂系統進行處理，其 夠達到台積自主管理標準 (<2.3ppb)，詳細運轉之水
中鈷樹脂再生廢液其濃度約 3000ppm 可進入電鍍 質水量如圖6。
系統進行回收，電鍍廢液濃度約 200ppm 亦可回到
硫酸鈷系統讓樹脂進行吸附，最終處理後廢水會至

圖 6：資源化電鍍鈷系統流程

4.1 高濃度鈷廢水資源化處置 4.2 低濃度鈷廢水樹脂吸附處理成果

高濃度含鈷廢水透過電鍍鈷系統處理，目前每月可生 系統目前運轉量約 100-120CMD，入流鈷濃度約為
產 96kg 的鈷棒作為產品銷售，雖然產出售價不高， 3000ppb，經樹脂處理後排放至放流水已能夠達到小
但可降低廠內高濃度含鈷廢液委外清運的費用，大 於 2.3ppb 的自主管理標準。但其運轉上仍有需要解
大減低處理成本(約7M/month)。而電鍍鈷系統主要 決的問題，像是目前未有較好的線上樹脂飽和指標，
是以鈷分析儀作為排放指標如圖7，以鈷濃度不再 故僅能使用 pH 及系統進水量作為樹脂破出參考依
下降作為電鍍終點。完成電鍍後，廢液濃度約仍有 據，根據樹脂產水 pH 時間變化如圖8，顯示當樹脂
200~500ppm，再透過緩排方式排放至鈷廢水樹脂系 吸附飽和時，產水 pH 會有明顯的變化，因此設定當
統，殘留的鈷離子經由螯合樹脂吸附後再提濃，再生 pH>4 時需進行再生切換。另外，拋棄型樹脂主要以
提濃的廢液可接近 3000ppm 回到電鍍系統進行資源 進水量作為更換依據，比對處理量與產水鈷濃度比較
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化處置，確實收集可生成鈷棒的廢液來源，達到資源 如圖9，樹脂塔處理 1000-1200m 的水量後便需進
循環的目的。 行更換，以達到維持放流水小於 2.3ppb 之標準。

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