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TSMC/ Facility Published

前言

揮發性有機物 (Volatile Organic Compounds, VOCs) 氣、氨氮、VOCs( 以 NMHC 為代表，NMHC 又稱非
為 有機碳化合物的總稱 ( 包含 NMHC 非甲烷總碳 甲烷總烴。以《大氣污染物綜合排放標準詳解》中定
氫化合物的揮發性有機物 )，是一種有害的空氣污 義，除甲烷以外所有的總稱，主要包括烷烴、烯烴、
染 物 (Hazardous Air Pollutant, HAP)， 一 般 係 指 芳香烴和含氧烴等組分 )，以達到源頭減量、降低排
在 20℃、760mmHg 之標準狀態下，蒸氣壓大於 放濃度目的。然而在本廠區排放污染總量上，污染物
0.1mmHg 以上之有機化合物，其對人體的皮膚及眼 NMHC 佔比為最大的排放量 (4.28ton/year) 如圖1
睛會產生不良的刺激，更會使人體的神經、呼吸、消 所示，以排放總量最高的污染物 NMHC 進行改善目
化、及血液循環系統中毒，是造成人體器官致癌及產 標。因此針對污染物 (NMHC) 進行盤查，發現 F12P3
[01]
生腫瘤的可能因素之一。 LWSC(Local Wet Scrubber) 氣體出口 NMHC 濃度遠
高於 LWSC 入口濃度如圖2 所示。
廠區 F12P3 以源頭分流改善及提升污染物防制設備
處理效能的兩個主軸方式，致力於各項空氣污染減
量 ( 污染物為硝酸、磷酸、硫酸、氫氟酸、鹽酸、氯

圖 1：F12P3 廠區各項污染物總量分析圖

圖 2：F12P3 LWSC 入出口 NMHC 濃度差異

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