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TSMC/ Facility Published

文獻探討

2.1 NMHC 相關處理技術 2.1.1 焚化法
焚化控制技術可分為直接焚化法與觸媒焚化法，其乃
非甲烷總烴 (NMHC) 又稱非甲烷烴。根據《大氣污
將臭味物質轉化成氧化物，最典型之例子即為碳氫化
染物綜合排放標準》(GB16297-1996) 以及《大氣污
合物轉化成二氧化碳及水。焚化爐設計時需能供給氧
染物排放標準詳解》，非甲烷總烴指除甲烷以外所有
氣並滿足燃燒溫度、停留時間及廢氣擾流等三個燃燒
碳氫化合物的總稱，主要包括烷烴、烯烴、芳香烴和
條件，每個條件皆可視需要情況加以修正，並準確控
含氧烴等組分，實際上是指具有 C2-C12 的烴類物質
制，以使廢氣獲得完全燃燒，達到預期之處理效果。
[04]
。 其處理技術可區分為氧化法與吸附法，其中氧化
➀直接焚化法在直接焚化法中，臭氣於 650~820℃
法包括焚化法、濕式洗滌法、乾式氣體氧化法及生物
下停留 0.3~0.6 秒，並與氧氣充份混合，臭味物質即
濾床法；活性炭吸附法。其各處理技術方法對應流量
可被氧化，其氧化效率可達 95~99％。若於有致臭
與濃度的相關資料，如圖4 所示。另外一般處理模式
性粒狀物質存在之情況下，燃燒溫度有需要提升至
可以分為單一技術或二種以上技術組合 ( 串聯 ) 以完
約 1,150℃，且停留時間亦需延長至 2 秒左右，方能
[05]
成 NMHC 廢氣處理工作 。
將可燃性粒狀物質燃燒氧化。直接焚化法脫臭裝置之
特色係對於含任何濃度臭味物質之廢氣，可藉由特定
燃燒溫度而獲得高脫臭效率。來自污染源廢氣進入裝
設於焚化爐附近之熱交換器，藉由處理後排氣之餘熱
進行熱回收，以預熱待處理廢氣，經預熱後之廢氣再
進入焚化爐內進行氧化脫臭；➁觸媒焚化法 : 觸媒是
一種能引發或加速化學反應而本身不受影響之材料，
因具有特殊之化學性質而能降低燃燒溫度，使製程排
放廢氣中所含有機物質或碳氫化合物等具臭味物質，
能於較低之燃燒溫度下即可氧化而轉換成二氧化碳及
水等無害物質。當氣體濃度即使位於「低燃燒下限
(LEL)」以下之範圍內，亦能藉由觸媒促使完全燃燒反
應之進行。由於觸媒焚化法所需之燃燒溫度較低，故
輔助燃料之添加可大大地減少。直接焚化法與觸媒焚
化法之燃燒條件差異如表2 所示，最大差異在於燃燒
圖 4：各處理技術的流量與濃度比較圖
溫度及火焰之狀態。

表 2：直接焚化法與觸媒焚化法主要差異

項目 直接燃燒法 觸媒氧化法

燃燒溫度 650~820℃ 150~480

燃燒狀態 高溫火燄中停留一定時間 接觸觸媒不生成火燄

3 3 3 3
空間速度 7500~1200m /hr/m 15000~25000m /hr/m
停留時間 0.3~0.5秒 0.14~0.24秒

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