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圖七、紫外線(UL)對不同塑膠之裂化狀態
● 配管資料庫建立 安全查核
將常用的配管方式紀錄起來，並事先計算或量測 配管的安全性非常重要，包括管路材質的選用、 最大光化學
塑膠種類 裂化狀態
出相關的壓損係數，進而建立各配管方式的壓損公 機台使用化學物質的不相容性以及適當的管路內搬運 敏感波長
式，成為一配管資料庫以供二次配管負責人員選取參 速度等。
PP 310nm 龜裂，脆化
考。 紅外光 (760nm - 50nm) 22%
● 物質不相容性資料庫建立 PVC 310nm-320nm 變黑
● 配管壓損計算軟體建立 可見光 (400nm - 760nm) 71% Nylon 290nm-320nm 脆化
物質不相容性可參考SEMI S4附錄所提供的資料，
PE 300nm 電器性降低
上述各項程序完成後，即加以整合來建立一套完 並可由物質安全資料表交叉比對以獲得更多的資訊而 紫外線 (290nm - 400nm) 7% PET 325nm 黃變
整的壓損計算軟體，當二次配管負責人員在新增機 產生物質不相容性資料表(表五)及風險編碼。再將每 PS 318nm 黃變
台時，可以藉此來選用配管方式，即使現場配置的空 個次主管排放物質併入資料庫內，當新增機台時輸入 PU 313nm 黃變，脆化
間無法滿足現有資料庫之模式，亦可根據新設計的 使用物質(如機台Utility資料表)，即可比對是否有不相 地球表面
Layout來計算出新的壓損數據。此軟體也適用於一次 容質會匯入的次主管中，以避免危害的發生。
配管的設計階段來驗證設計值的準確性與可行性。
● 管路分類與材質選用資料庫建立
UV-A: 400nm-320nm: 88% / 會造成高分子劣化 / 會使皮膚曬黑
針對使用化學物質考慮其毒性、腐蝕性、易燃易

紫外線 UV-B: 320nm-290nm: 9% / 會造成高分子劣化 / 會使皮膚曬傷

表五、物質不相容性資料表(範例)

磷化氫 二乙鋅 磷 砷 UV-C: 小於 290nm: 3% / 會被大氣層外的臭氧層吸收 而無法到達地面
Reactivity Compatibility (PHOSPHINE) 砷化氫(ARSINE) 四溴化碳 (Carbon (Diethyl zinc) (PHOSPHORUS) (ARSENIC)
Chart ASH3 etrabromide) CBr4
PH3 DEZn P AS
表七、管路搬運速度表
磷化氫(PHOSPHINE) PH3 F A9, B4, C, D3 F B3, C, G C
位置 一次配管 二次配管
砷化氫(ARSINE) ASH3 F A9, B4, C, D3 F B3, C, G C 分類 物質 速度
5~8m/s
ClF 3
毒/酸管 10~15m/s
四溴化碳(Carbon HCl 10~15m/s
tetrabromide) CBr4 A9, B4, C, D3 A9, B4, C, D3 A9, B4, C, D3 C, D3 A3, B1, C 5~8m/s
鹼/氨管 10~15m/s NH 3
NH 4 OH 10~15m/s
二乙鋅(Diethyl zinc) DEZn F F A9, B4, C, D3 B3, C, G C EBR 10~15m/s
有機管 10~15m/s
IPA 10~15m/s
磷(PHOSPHORUS) P B3, C, G B3, C, G C, D3 B3, C, G N 2 5~8m/s
一般/熱管 5~8m/s
O 2 5~8m/s
砷(ARSENIC) AS C C A3, B1, C C 5~8m/s
SiH 4
自/易燃管 5~8m/s
DCS 5~8m/s
氫氣(HYDROGEN) H2 B3, C, G B3, C, G C, D3 B3, C, G F
說明：不相容性風險編碼依據美國EPA軟體及資料庫。 潛在風險編碼分類：A類為爆炸及B類為火災

表六、管路材質選用表 爆性等，選用適當耐燃性、抗腐蝕性之材質，進而 等，採用適當的管路搬運速度，進而建立管路搬運
建立一管路材質選用資料庫，當使用者輸入機台的 速度資料庫(表七)，當使用者輸入機台的使用化學物
二次配管（<10”）
位置 使用化學物質後，即可提供建議的管路材質供其選 質後，即可提供建議的管路搬運速度供其設計配管
分類 一次配管（>10”）
管材
用(表六)。 時計算壓損使用。
管路除了考慮使用化學物質之特性外，也必須將
FM4922/4910認證 ● 安全查核系統建立
SEX 不鏽鋼內鍍鐵弗龍 管路安裝環境條件納入評估。紫外線會對不同塑膠
可燃+灑水系統
產生裂化(圖七)，因此安裝於戶外之風管不建議使 當前述的各項工作完成後，即可建立一完整的安
全查核系統，將新增機台的排氣物質確定後，利用
FM4922/4910認證 用塑膠材質，避免洩漏再由空調吸入造成微污染問
AEX 不鏽鋼內鍍鐵弗龍
可燃+灑水系統 題。 程式自動判斷出必須採用何種排氣系統（毒酸管、
鹼管、有機管、一般管或自燃管）、何種管路材
VEX 不鏽鋼 不鏽鋼 ● 管路搬運速度資料庫建立
質、及是否可採用欲選用的匯入主管，最後亦可提
GEX 不鏽鋼 or 鍍鋅螺旋管 不鏽鋼 or 鍍鋅螺旋管 針對使用化學物質考慮其粒子大小、液化程度 供建議的管路搬運速度。

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