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Special Report 特別企劃    Tech Notes 技術專文         New Visions 新象新知        LOHAS Column 樂活園地
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              圖七、紫外線(UL)對不同塑膠之裂化狀態
 ● 配管資料庫建立  安全查核
 將常用的配管方式紀錄起來，並事先計算或量測  配管的安全性非常重要，包括管路材質的選用、                                         最大光化學
                                                                            塑膠種類                   裂化狀態
 出相關的壓損係數，進而建立各配管方式的壓損公  機台使用化學物質的不相容性以及適當的管路內搬運                                       敏感波長
 式，成為一配管資料庫以供二次配管負責人員選取參  速度等。
                                                                              PP       310nm       龜裂，脆化
 考。                                       紅外光 (760nm - 50nm) 22%
 ● 物質不相容性資料庫建立                                                               PVC     310nm-320nm     變黑
 ● 配管壓損計算軟體建立                             可見光 (400nm - 760nm) 71%            Nylon  290nm-320nm      脆化
 物質不相容性可參考SEMI S4附錄所提供的資料，
                                                                              PE       300nm       電器性降低
 上述各項程序完成後，即加以整合來建立一套完  並可由物質安全資料表交叉比對以獲得更多的資訊而  紫外線 (290nm - 400nm) 7%       PET      325nm         黃變
 整的壓損計算軟體，當二次配管負責人員在新增機  產生物質不相容性資料表(表五)及風險編碼。再將每                             PS       318nm         黃變
 台時，可以藉此來選用配管方式，即使現場配置的空  個次主管排放物質併入資料庫內，當新增機台時輸入                             PU       313nm       黃變，脆化
 間無法滿足現有資料庫之模式，亦可根據新設計的  使用物質(如機台Utility資料表)，即可比對是否有不相  地球表面
 Layout來計算出新的壓損數據。此軟體也適用於一次  容質會匯入的次主管中，以避免危害的發生。
 配管的設計階段來驗證設計值的準確性與可行性。
 ● 管路分類與材質選用資料庫建立
                                                      UV-A: 400nm-320nm: 88% / 會造成高分子劣化 / 會使皮膚曬黑
 針對使用化學物質考慮其毒性、腐蝕性、易燃易

                   紫外線                                UV-B: 320nm-290nm: 9% / 會造成高分子劣化 / 會使皮膚曬傷

 表五、物質不相容性資料表(範例)

 磷化氫  二乙鋅  磷  砷                                     UV-C: 小於 290nm: 3% / 會被大氣層外的臭氧層吸收  而無法到達地面
 Reactivity Compatibility   (PHOSPHINE)  砷化氫(ARSINE)  四溴化碳 (Carbon   (Diethyl zinc)  (PHOSPHORUS)  (ARSENIC)
 Chart  ASH3  etrabromide) CBr4
 PH3  DEZn  P  AS
              表七、管路搬運速度表
 磷化氫(PHOSPHINE) PH3  F  A9, B4, C, D3  F  B3, C, G  C
                               位置            一次配管                                二次配管
 砷化氫(ARSINE) ASH3  F  A9, B4, C, D3  F  B3, C, G  C  分類              物質                       速度
                                                                                             5~8m/s
                                                                      ClF 3
                      毒/酸管                  10~15m/s
 四溴化碳(Carbon                                                          HCl                   10~15m/s
 tetrabromide) CBr4  A9, B4, C, D3  A9, B4, C, D3  A9, B4, C, D3  C, D3  A3, B1, C           5~8m/s
                      鹼/氨管                  10~15m/s                  NH 3
                                                                    NH 4 OH                 10~15m/s
 二乙鋅(Diethyl zinc) DEZn  F  F  A9, B4, C, D3  B3, C, G  C             EBR                   10~15m/s
                       有機管                  10~15m/s
                                                                      IPA                   10~15m/s
 磷(PHOSPHORUS) P  B3, C, G  B3, C, G  C, D3  B3, C, G                 N 2                    5~8m/s
                     一般/熱管                   5~8m/s
                                                                      O 2                    5~8m/s
 砷(ARSENIC) AS  C  C  A3, B1, C  C                                                           5~8m/s
                                                                     SiH 4
                     自/易燃管                   5~8m/s
                                                                     DCS                     5~8m/s
 氫氣(HYDROGEN) H2  B3, C, G  B3, C, G  C, D3  B3, C, G  F
 說明：不相容性風險編碼依據美國EPA軟體及資料庫。   潛在風險編碼分類：A類為爆炸及B類為火災



 表六、管路材質選用表   爆性等，選用適當耐燃性、抗腐蝕性之材質，進而                           等，採用適當的管路搬運速度，進而建立管路搬運
              建立一管路材質選用資料庫，當使用者輸入機台的                           速度資料庫(表七)，當使用者輸入機台的使用化學物
 二次配管（<10”）
 位置           使用化學物質後，即可提供建議的管路材質供其選                           質後，即可提供建議的管路搬運速度供其設計配管
 分類  一次配管（>10”）
 管材
              用(表六)。                                           時計算壓損使用。
                管路除了考慮使用化學物質之特性外，也必須將
 FM4922/4910認證                                                 ● 安全查核系統建立
 SEX  不鏽鋼內鍍鐵弗龍  管路安裝環境條件納入評估。紫外線會對不同塑膠
 可燃+灑水系統
              產生裂化(圖七)，因此安裝於戶外之風管不建議使                             當前述的各項工作完成後，即可建立一完整的安
                                                               全查核系統，將新增機台的排氣物質確定後，利用
 FM4922/4910認證  用塑膠材質，避免洩漏再由空調吸入造成微污染問
 AEX  不鏽鋼內鍍鐵弗龍
 可燃+灑水系統      題。                                               程式自動判斷出必須採用何種排氣系統（毒酸管、
                                                               鹼管、有機管、一般管或自燃管）、何種管路材
 VEX  不鏽鋼  不鏽鋼  ● 管路搬運速度資料庫建立
                                                               質、及是否可採用欲選用的匯入主管，最後亦可提
 GEX  不鏽鋼 or 鍍鋅螺旋管  不鏽鋼 or 鍍鋅螺旋管  針對使用化學物質考慮其粒子大小、液化程度         供建議的管路搬運速度。



 NEW FAB TECHNOLOGY JOURNAL                                                                  http://nfjournal/  July 2011
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